Occasion ASM A 412 #9170221 à vendre en France

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ASM A 412
Vendu
ID: 9170221
Taille de la plaquette: 12"
Vertical LPCVD furnaces, 12" Doped poly.
ASM A 412 est un four de diffusion et des accessoires pour des applications de fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour la diffusion de dopants dans des plaquettes. L'équipement est équipé d'une large gamme de caractéristiques pour assurer un traitement efficace, sûr et reproductible. La chambre du four est faite de matériaux de haute qualité et contient un tube en quartz, pour protéger contre la contamination pendant les cycles de processus. Il est chauffé par un système de chauffage vertical à température constante à quatre zones. Les quatre cartouches de chauffage de haute précision sont commandées par un contrôleur PID indépendant assurant une précision de température répétable (± 0,01 ° C). Il est également équipé d'un plateau supérieur refroidi pour un traitement isotherme uniforme. ASM A412 dispose d'un puissant détecteur automatisé de points d'extrémité qui assure une détection précise des points d'extrémité, éliminant les défauts potentiels du produit fini. Il dispose également d'une plate-forme de levage automatisée avec moteur servo qui assure un chargement et un déchargement cohérents des plaquettes. Le panneau de commande électronique fournit toutes les informations nécessaires sur les paramètres de fonctionnement et la sécurité, rendant le processus complètement simple et intuitif. Un 412 comprend également une unité de vide robuste. Il est capable de maintenir de faibles pressions de vide partiel dans la chambre de diffusion, permettant des processus de diffusion précis et reproductibles. Les accessoires du four comprennent une prévisualisation automatisée, un outil de refroidissement et d'aération, et un actif de purge inerte. Ces composants assurent un fonctionnement correct et efficace du four. A412 est construit pour fournir une uniformité et un rendement supérieurs. Sa conception et sa technologie sophistiquées en font le choix idéal pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs de haute performance. Avec son large éventail de fonctionnalités, des performances précises et fiables, et un entretien facile, il est l'outil idéal pour vos processus de diffusion.
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