Occasion ASM SP 32 #9136879 à vendre en France

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ASM SP 32
Vendu
ID: 9136879
Diffusion furnaces.
ASM SP 32 est un four de recuit et de diffusion d'ASM International. Il est conçu pour une utilisation dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et dispose d'un contrôle de processus avancé pour optimiser les performances du processus. L'accès au panneau de niveau discret sur SP 32 permet un réglage rapide et précis des paramètres du processus. Le panneau de verre à quartz et la paroi intérieure se combinent pour réduire les vibrations et les gradients thermiques dans le four, fournissant un profil de température uniforme dans toute la chambre de travail. Le grand plateau de quartz peut contenir jusqu'à quatre plaquettes de 8 "ou trois plaquettes de 12" ou 2 15 "à la fois pour le recuit et la diffusion. Le ventilateur interne fournit un flux gazeux turbulent, ce qui permet un profil thermique amélioré et un chauffage uniforme des plaquettes. Il est également équipé de multiples canaux de gaz, qui peuvent être utilisés pour la livraison de gaz ou d'autres fonctionnalités. De plus, les pièces en quartz sont réutilisables et présentent une résistance suffisante pour résister à un fonctionnement prolongé dans des environnements corrosifs. Le contrôleur programmable intégré dispose de modes manuels et automatiques pour le contrôle automatique des processus, la surveillance et les étapes pour la gestion du cycle total. En outre, la température et les paramètres de fonctionnement peuvent être sauvegardés dans le contrôleur permettant un partage facile entre les différents utilisateurs. Le modèle standard a une température maximale de fonctionnement de 900 ° C et une vitesse maximale de chauffage de 150 ° C/min. Le four est également disponible avec un système de refroidissement rapide en option pour réduire les temps de cycle et faciliter le traitement des substrats thermosensibles. L'ASM SP 32 est équipé d'un système de chargement automatisé à un seul axe, ce qui le rend adapté aux opérations par lots en continu avec automatisation complète. Les panneaux d'accès sont spécialement conçus pour minimiser le transfert de chaleur et le dépôt de particules, garantissant des résultats de haute qualité. Plusieurs dispositifs de sécurité sont intégrés à la SP 32 pour prévenir les accidents et assurer la sécurité des opérations. Dans l'ensemble, l'ASM SP 32 est un procédé fiable et très précis qui peut être utilisé pour diffuser, recuit ou nitrure une variété de substrats semi-conducteurs. Avec son contrôleur programmable haute performance et divers panneaux d'accès, les utilisateurs peuvent facilement programmer, surveiller et contrôler l'ensemble du processus pour des performances exceptionnelles.
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