Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #155754 à vendre en France
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Vendu
ID: 155754
Furnace, 8"
Process: Poly
Safety specification: TEL Standard
System paint color: Biege white
System power rating:
AC200V, 3P / AC100V, 1P
Loading configuration:
(4) Loaders / (127) Wafer slots
Process pressure (Torr): Low pressure
Process temperature: 600º C
FTP Heater: Installed
Rapid cooling unit: Installed
Heater type: VOS-40-017
Process gases:
Process gas MFC 1,2,3,4: N2
Process gas MFC 5, 6: SiH4
Process gas MFC 7, 8, 9: PH3
Gas system:
Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni
Air valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Mega-mini and block
MFC: STEC SEC-74 Series
Check valve: FUJIKIN O-Ring seal type
Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Regulator: VERIFLO SQ Series
Pressure transducer: NAGANO ZT 17
Others:
Joint: Gasket type: Pure nickel type
Piping material: SUS316L Up tube
Piping working method: Welding
Welding methods: Automatic welding
Gas exhaust system:
Dry pump: EBARA A150W-T
Main valve: MKS 172-1080P
Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal type
Joint:
Gasket
JIS Method
Piping material: SUS316BA, stainless steel
APC: MKS 253B-3-80-2, butterfly valve
VG1: 0 to 10 Torr, Normal type
VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type
VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge
Manifold:
Structure:
Sealing method: End point sealing
Material: SUS316L Stainless steel
Port:
Gas port: 3/8" Ultra torr
Inner T/C port: 20DAI Ultra torr
Exhaust port: 3 DIA
Cooling method: Water cooling
Safety Interlock:
Gas flow low MFC:
Too low gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Gas flow high MFC:
Too high gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Low PCW flow:
No PCW supply
Alarm: > 3min
Abort: > 5min
Heater break down: > 7min
PCW Leak detection: Alarm
Process heater over temperature:
Chamber over heat
Heater break down: > 3 sec
Furnace area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
SCR Area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
Interruption of electric power: Alarm
Abort: < 3 sec
Heater break down: > 3 sec
Gas flow sequence: Alarm
Pump off: Alarm
Pump trouble: Alarm
Pressure low (reactor tube pressure): Alarm
Pressure high (reactor tube pressure): Alarm
Leak check (reactor tube pressure):
Main valve off delay: 10 min
Abort: > 20mTorr
Currently warehoused
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion conçu pour aider à optimiser et à affiner les processus semi-conducteurs grâce à son chauffage, extraction et traitement thermique innovants des plaquettes semi-conductrices. Un équipement de contrôle thermique de pointe permet un contrôle de température de haute précision de l'ensemble du processus, produisant des résultats cohérents. TEL ALPHA-8S offre un balayage à basse température et une fonction « Power Save », créant de manière sûre et fiable des procédés optimaux de soudure et de revêtement de film barrière. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est équipé d'un système d'extraction d'échappement haute performance qui peut être configuré pour assurer un traitement sans émission. Il dispose de deux chauffages électro-thermiques avec une température maximale de 1920 ° C, équipant l'utilisateur d'un moyen efficace et sûr de recuit et de traitement thermique des échantillons d'une manière répétable avec des résultats cohérents. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S est en outre équipé d'AUTO PECVD continue, avec des mélangeurs à gaz en plénum qui permettent un entretien rapide et facile de l'unité. TOKYO ELECTRON Alpha 8S est une machine entièrement automatisée à la fois intuitive et conviviale. Sa conception robuste comprend des fonctionnalités telles que la programmabilité améliorée, un contrôle matériel puissant, et des paramètres d'alarme et de séquence de programme définis par l'utilisateur. L'outil est également évolutif, permettant aux utilisateurs d'ajouter des composants et de mettre à niveau les capacités au fil du temps. TEL Alpha 8S est en outre équipé de plusieurs accessoires qui garantissent une expérience sûre et sans tracas. Parmi ces accessoires, il y a un filtre avancé qui empêche toute contamination possible. La fonction d'étanchéité sous vide permet des processus efficaces et reproductibles et un modèle de cale thermique haute performance assure l'uniformité de l'échantillon. Enfin, un mode PC Control optionnel permet aux utilisateurs d'accéder et de gérer facilement les données et les paramètres du programme. ALPHA 8 S est un four de diffusion très efficace et performant, équipé de fonctionnalités avancées et d'accessoires pour assurer un processus semi-conducteur optimalement efficace. Sa conception et ses caractéristiques innovantes rendent cette solution idéale pour une gamme de procédés complexes et très précis de traitement thermique, de recuit et de revêtement.
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