Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #155754 à vendre en France

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ID: 155754
Furnace, 8" Process: Poly Safety specification: TEL Standard System paint color: Biege white System power rating: AC200V, 3P / AC100V, 1P Loading configuration: (4) Loaders / (127) Wafer slots Process pressure (Torr): Low pressure Process temperature: 600º C FTP Heater: Installed Rapid cooling unit: Installed Heater type: VOS-40-017 Process gases: Process gas MFC 1,2,3,4: N2 Process gas MFC 5, 6: SiH4 Process gas MFC 7, 8, 9: PH3 Gas system: Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni Air valve: FUJIKIN: Diaphragm type Mega-mini and block MFC: STEC SEC-74 Series Check valve: FUJIKIN O-Ring seal type Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type Regulator: VERIFLO SQ Series Pressure transducer: NAGANO ZT 17 Others: Joint: Gasket type: Pure nickel type Piping material: SUS316L Up tube Piping working method: Welding Welding methods: Automatic welding Gas exhaust system: Dry pump: EBARA A150W-T Main valve: MKS 172-1080P Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal type Joint: Gasket JIS Method Piping material: SUS316BA, stainless steel APC: MKS 253B-3-80-2, butterfly valve VG1: 0 to 10 Torr, Normal type VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge Manifold: Structure: Sealing method: End point sealing Material: SUS316L Stainless steel Port: Gas port: 3/8" Ultra torr Inner T/C port: 20DAI Ultra torr Exhaust port: 3 DIA Cooling method: Water cooling Safety Interlock: Gas flow low MFC: Too low gas flow Alarm: > 5% Abort: ± 10% Gas flow high MFC: Too high gas flow Alarm: > 5% Abort: ± 10% Low PCW flow: No PCW supply Alarm: > 3min Abort: > 5min Heater break down: > 7min PCW Leak detection: Alarm Process heater over temperature: Chamber over heat Heater break down: > 3 sec Furnace area over temperature: Alarm Heater break down: > 3 sec SCR Area over temperature: Alarm Heater break down: > 3 sec Interruption of electric power: Alarm Abort: < 3 sec Heater break down: > 3 sec Gas flow sequence: Alarm Pump off: Alarm Pump trouble: Alarm Pressure low (reactor tube pressure): Alarm Pressure high (reactor tube pressure): Alarm Leak check (reactor tube pressure): Main valve off delay: 10 min Abort: > 20mTorr Currently warehoused 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion conçu pour aider à optimiser et à affiner les processus semi-conducteurs grâce à son chauffage, extraction et traitement thermique innovants des plaquettes semi-conductrices. Un équipement de contrôle thermique de pointe permet un contrôle de température de haute précision de l'ensemble du processus, produisant des résultats cohérents. TEL ALPHA-8S offre un balayage à basse température et une fonction « Power Save », créant de manière sûre et fiable des procédés optimaux de soudure et de revêtement de film barrière. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est équipé d'un système d'extraction d'échappement haute performance qui peut être configuré pour assurer un traitement sans émission. Il dispose de deux chauffages électro-thermiques avec une température maximale de 1920 ° C, équipant l'utilisateur d'un moyen efficace et sûr de recuit et de traitement thermique des échantillons d'une manière répétable avec des résultats cohérents. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S est en outre équipé d'AUTO PECVD continue, avec des mélangeurs à gaz en plénum qui permettent un entretien rapide et facile de l'unité. TOKYO ELECTRON Alpha 8S est une machine entièrement automatisée à la fois intuitive et conviviale. Sa conception robuste comprend des fonctionnalités telles que la programmabilité améliorée, un contrôle matériel puissant, et des paramètres d'alarme et de séquence de programme définis par l'utilisateur. L'outil est également évolutif, permettant aux utilisateurs d'ajouter des composants et de mettre à niveau les capacités au fil du temps. TEL Alpha 8S est en outre équipé de plusieurs accessoires qui garantissent une expérience sûre et sans tracas. Parmi ces accessoires, il y a un filtre avancé qui empêche toute contamination possible. La fonction d'étanchéité sous vide permet des processus efficaces et reproductibles et un modèle de cale thermique haute performance assure l'uniformité de l'échantillon. Enfin, un mode PC Control optionnel permet aux utilisateurs d'accéder et de gérer facilement les données et les paramètres du programme. ALPHA 8 S est un four de diffusion très efficace et performant, équipé de fonctionnalités avancées et d'accessoires pour assurer un processus semi-conducteur optimalement efficace. Sa conception et ses caractéristiques innovantes rendent cette solution idéale pour une gamme de procédés complexes et très précis de traitement thermique, de recuit et de revêtement.
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