Occasion ADIXEN AMS 110 #9200290 à vendre en France

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Fabricant
ADIXEN
Modèle
AMS 110
ID: 9200290
Taille de la plaquette: 4"-6"
Style Vintage: 2007
DRIE Etcher, 4"-6" ICP Etching system for silicon Includes: Vacuum pumps, chiller Process chamber: Bosch licence Substrate holder in ESC finger clamping version+LAUDA Chiller type RK8CP Wafer centering kit Source power supply: 3 kW RF Bias power supply: 300 W LF Chamber primary pump: ADIXEN Dry pump (ADP 122) Chamber maglev turbo molecular pump: ADIXEN ATH 1600 MT DN 200 Throttle valve VAT 61 series Gas lines: SF6/1000 sccm C4F8/400 sccm O2/200 sccm Load-lock: Single wafer manual vacuum load lock including: One cover (Aluminium and plexiglass) Manual wafer transfer arm: Load-lock and process chamber Control module: Allen bradley PLC and industrial PC with its UPS User interface: Windows 2000 Separate electrical cabinet including main control panel RF/LF generators and PLC AMS 100 system is delivered with 10m cable: Electrical cabinet Process module Documentation: Users / Maintenance manual on CD-ROM and PC hard disk Electrical schematics on standard paper Components manual on CD-ROM Options: Basic structure: Heated liner installed in source chamber Automatic load lock Pumping station: Heated valve VAT 65 series and by-pass valve End point detection: Digilem 200: IR (905nm) Camera Substrate holder 100 mm kit: 4" Additional ESC pin 2007 vintage.
ADIXEN AMS 110 etcher/asher est un système de traitement thermique avancé conçu pour une large gamme d'applications de gravure et ashing. Il dispose d'une combinaison de haute performance de la livraison de gaz, de la régulation de la température et de la physique du vol, ce qui en fait un outil idéal pour les processus de gravure et d'ashing les plus difficiles. L'AMS 110 offre des résultats de gravure et d'ashing supérieurs, avec un traitement rapide et reproductible grâce à ses buses à gaz inerte haute performance et à son contrôle de température. La conception modulaire du graveur/asher permet une large gamme de configurations en fonction des besoins spécifiques de l'utilisateur. Le système fournit jusqu'à quatre canaux de contrôle de gaz indépendants, permettant aux utilisateurs de traiter avec plusieurs gaz simultanément. Chaque canal est doté d'un contrôle indépendant du débit et de la température, ce qui permet à l'utilisateur d'optimiser les résultats du processus. De plus, plusieurs cibles peuvent être traitées simultanément, ce qui permet à plusieurs utilisateurs de traiter plusieurs parties similaires ou plusieurs parties différentes en parallèle. La technologie innovante de physique du vol utilisée par ADIXEN AMS 110 aide à façonner le plasma et à couvrir uniformément les cibles, d'où une uniformité et une répétabilité dans le traitement. Le graveur/asher est également équipé d'une source d'alimentation ICP à courant élevé (jusqu'à 100 ampères) en option pour les applications de gravure et de cueillette qui nécessitent une plus grande précision. L'interface conviviale permet un contrôle précis de l'etcher/asher avec une interface de programmation graphique intuitive pour une configuration facile. Le logiciel AMS 110 comprend également une multitude de fonctionnalités avancées, telles que la surveillance des procédés, l'échange automatisé de gaz et la production basée sur des recettes. L'utilisateur peut également définir plusieurs niveaux hiérarchiques, permettant à chaque utilisateur d'avoir accès aux fonctions spécifiques dont il a besoin. Dans l'ensemble, ADIXEN AMS 110 etcher/asher est un système innovant conçu pour fournir des résultats de gravure et d'ashing haute performance et reproductibles tout en répondant à un large éventail de besoins pour de multiples utilisateurs. Sa combinaison de la régulation de la température, de la livraison de gaz et de la physique du vol en fait un outil idéal pour les processus de gravure et d'ashing les plus difficiles.
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