Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9123425 à vendre en France
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Vendu
ID: 9123425
Style Vintage: 2008
Etcher
(1) Chamber
Process: Deep silicon bosch
SF6, C4F8, O2, Ar, N2, He, CHF3
Brooks platform
Dual loadlocks
Magnatron 7
ALCATEL ACT 600M TMP
User interface PC
Transfer PC
Process chamber: AMS X200
ALCATEL ACT 1300M TMP
Process gases:
SF6 1000sccm
C4F8 400sccm
O2 100sccm
O2 800sccm
Ar 200sccm
N2 1000sccm
Ar
CHF3
EDM
CS200-11729
200 / 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
ALCATEL AMS X200
(2) SEMCO HV52000C
SEREN L301 RF
Advanced energy dressler cesar RF
ENI Spectrum B-3013 RF
200/208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 est un graveur/asher de haute technologie conçu pour répondre aux besoins de la production industrielle à grande échelle. Cet équipement précis et entièrement automatisé assure un processus précis et reproductible de gravure et de cueillette des échantillons et des substrats. Le système dispose d'une unité intégrée de filtration sous vide pour assurer la propreté lors de la gravure et de la cueillette. Cette machine de filtration élimine les contaminants les plus courants du flux gazeux et aide à prévenir la contamination de l'échantillon. De plus, le processus automatisé est conçu pour protéger l'exploitant des effets nocifs de l'exposition aux produits chimiques. ADIXEN AMS 4200 utilise une technologie de pointe pour assurer un procédé de gravure/cendres de haute qualité. La technologie intégrée de contrôle de la température multi-zones assure un contrôle précis de la température dans la chambre de traitement et le flux de gaz. Cela offre des résultats de gravure/cendres précis et reproductibles. En outre, l'interface graphique conviviale (interface graphique) rend l'outil facile à utiliser. ALCATEL AMS 4200 fournit une interface conviviale et intuitive qui fournit un aperçu clair de tous les paramètres liés au processus de gravure/cendres. Cet actif est également équipé d'une variété de caractéristiques de sécurité. Par exemple, le mécanisme intégré d'arrêt d'urgence assure l'arrêt immédiat du processus en cas de problèmes de sécurité. Dans l'ensemble, PFEIFFER AMS 4200 est un graveur/asher haut de gamme. Ses caractéristiques de précision, d'automatisation et de sécurité en font un choix idéal pour une production industrielle à grande échelle. Son interface graphique conviviale et ses fonctions de sécurité robustes le rendent à la fois sûr et facile à utiliser, ce qui en fait un produit de prédilection pour la gravure et l'ashing.
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