Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9092919 à vendre en France

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR est un équipement de gravure à sec à haute vacum conçu pour la gravure ionique évoluée et réactive (RIE) en tailles de fonction sub-micron. Ce système est capable de graver en profondeur jusqu'à 0,01mm et avec une précision jusqu'à 0,1mm. L'unité ADIXEN GIR dispose également d'une machine de distribution de gaz avec quatre conduites de gaz permettant différentes combinaisons de processus telles que O2/CHF3 et Ar/Cl2. L'outil ALCATEL GIR comprend une chambre à vide, un dispositif d'insertion, une unité de commande et une station de pompage. La chambre est équipée d'au moins une turbomachine et d'une pompe rotative à palettes pour atteindre le niveau de vide requis de 10-6 mbar. La pompe de procédé haute performance ainsi que l'actif de pompage turbomoléculaire assurent un débit de gaz uniforme et stable tout au long du processus. Le dispositif d'insertion permet de placer l'échantillon dans la chambre en toute sécurité et est conçu pour éviter la contamination de la chambre à vide. Le gaz de procédé traverse le régulateur qui combine et caractérise le débit de chaque gaz présent. Le gaz de procédé est ensuite envoyé à la vanne d'injection qui permet une distribution uniforme du gaz dans la chambre de procédé. Le modèle GIR dispose d'un contrôle de processus intelligent qui surveille tous les paramètres nécessaires tels que la température, la pression et la visibilité. L'équipement peut être programmé avec différentes recettes de gravure en utilisant l'interface graphique intuitive de l'utilisateur. En outre, PFEIFFER GIR comprend un générateur de puissance RF à fréquence variable capable de délivrer 20 watts de puissance RF in situ pour optimiser les paramètres du processus de gravure ainsi qu'un scanner 3D pour la mesure et le positionnement précis de la métrologie. Enfin, le système de gravure ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR comprend un programme de sécurité avancé pour assurer un environnement de fonctionnement sûr. L'unité dispose d'un détecteur de dépassement de température intégré avec arrêt automatique et fournit des alarmes supplémentaires pour les caractéristiques liées à la sécurité. ADIXEN GIR comprend également un détecteur de flamme interne. En résumé, ALCATEL GIR est une machine de gravure avancée et performante conçue pour la gravure de taille de sous microns. Il est équipé de plusieurs conduites de gaz et fournit un contrôle de processus intelligent pour des processus de gravure précis et sûrs.