Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV #122877 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV
Vendu
ID: 122877
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
Oxide etcher, 8" (2) Telius SP Vesta Chambers 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV est un graveur/asher conçu pour des applications nécessitant une grande précision et un débit élevé pour la gravure et la cueillette des résultats de la plus haute qualité. C'est l'équipement idéal pour une large gamme d'échantillons de matériaux tels que SiO2 et SiN, à la gravure anisotrope des matériaux métalliques, isolants et semi-conducteurs. La gravure/Cueillette de résines sur substrats métal/silicium peut également être effectuée selon l'application. TEL Telius SP-2055 VV dispose d'un système de débit de gaz avec une unité de pompage multi-étages et une boîte à gaz qui peut être ajustée pour augmenter la vitesse de traitement. Une commande de vide avec une précision soutenue permet une vitesse d'entraînement jusqu'à 13.9L/min avec un maximum de 4,41 mbar dans la chambre. Il dispose également d'une machine de contrôle automatique de la pression (APC) qui permet de régler le niveau de pression si nécessaire. L'outil dispose également d'une pompe turbomoléculaire auto-nettoyante avec un temps de cycle de régénération de 1-9 minutes. TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV dispose également d'un actif avancé de régulation de la température des plaquettes avec une plage de travail comprise entre -40 ° C et sa limite de température des plaquettes à 100 ° C Son modèle de refroidissement amélioré permet à l'opérateur d'ajuster la vitesse de refroidissement des parois de la chambre pour prolonger le temps de gravure au besoin. Telius SP-2055 VV dispose également d'un graveur/asher de précision avec un équipement de verrouillage de charge qui permet de positionner la plaquette sur le porte-échantillon sans ouvrir la porte de la tourelle. Ceci est fait afin d'éviter la contamination de l'échantillon lors du changement de plaquettes. Son logiciel à large gamme fournit une interface utilisateur facile à utiliser pour la mise en place et le suivi des paramètres. Le temps de mise en place et le temps de chargement des échantillons sont également réduits avec le système de nettoyage automatique réparateur. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV est conçu spécifiquement pour une grande précision et un haut débit des résultats de la plus haute qualité. Il dispose d'une unité de débit de gaz avec une pompe multi-étages et des performances réglables et une machine de contrôle du vide avec une précision réglée. Il dispose également d'un outil amélioré de contrôle de la température des plaquettes et d'un moyen de refroidissement pour prolonger le temps de gravure. Le graveur/asher de précision dispose également d'un modèle de verrouillage de charge et d'un équipement de nettoyage automatique ainsi que d'une large gamme de logiciels pour la mise en place et la surveillance automatiques.
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