Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9194446 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
Vendu
ID: 9194446
High current implanter system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus est un équipement d'implantation ionique de niveau supérieur conçu pour améliorer le débit et la précision pour les applications les plus exigeantes dans la fabrication d'appareils. Grâce à son moteur d'implantation très efficace, AMAT Quantum X Plus offre une prédiction rapide et précise des trajectoires ioniques basée sur l'expérience, permettant de meilleures distributions de charges dans les architectures avancées de dispositifs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Quantum X Plus s'appuie sur le succès de ses prédécesseurs, le Quantum et le Quantum II, en obtenant une fiabilité accrue au niveau des chambres de processus et en offrant des intensités plus élevées pour de meilleurs résultats avec de petites largeurs de grille. Le système est conçu avec souplesse et précision, ce qui permet aux opérateurs d'optimiser davantage leurs paramètres de processus pour obtenir des résultats performants dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération. Quantum X Plus utilise une unité de faisceau double avancée, avec un faisceau mono-énergétique et un faisceau chirpé, permet de contrôler les énergies et la dose, tout en maintenant un débit de dose uniforme ou un profil souhaité. La machine peut fonctionner à des énergies allant jusqu'à 350 KeV et a une gamme de courant du faisceau de protons de 100 à 2000 µA. Les profils de dose complexes peuvent être facilement programmés dans l'outil avec jusqu'à 11 étapes axiales d'inclinaison et 8 étapes axiales de retour d'inclinaison. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Quantum X Plus possède un actif de polarisation de substrat de charge pour assurer un dépôt uniforme d'ions en chaque point du substrat, quelle que soit sa charge initiale. Le modèle est également équipé d'une chambre cryo sans cryogène, refroidie à l'eau. Cette chambre avancée réduit à la fois la taille et le nombre de composants, économisant ainsi un espace précieux pour la chambre d'implantation proprement dite. De plus, la buse multi-axes ion-assist ajoute des ions prédéfinis et est conçue pour un fonctionnement contrôlé amélioré. L'équipement est également livré avec des systèmes de surveillance et de contrôle sophistiqués. Le moniteur AMAT Quantum X Plus est capable de recueillir des données en temps réel, permettant aux utilisateurs de suivre les progrès et de dépanner le plus rapidement possible. Ce moniteur offre également des fonctionnalités telles que la surveillance endframe, les profils de pression et la gestion des fluides. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Quantum X Plus est également équipé d'un ensemble de capteurs, ce qui lui permet de détecter les problèmes potentiels avant qu'ils ne se produisent. En outre, les systèmes de contrôle du système fournissent un puissant contrôle des processus et des logiciels pour la cartographie des plaquettes et l'optimisation des processus. Toutes ces avancées font de Quantum X Plus un instrument puissant et fiable pour améliorer les processus de fabrication des appareils. Sa simplification du remplacement et de l'entretien peut réduire considérablement les temps d'arrêt, ce qui se traduit par une productivité accrue, une plus grande flexibilité des processus et une réduction des coûts de propriété. C'est l'unité ultime pour la fabrication de dispositifs et est un must-have pour les applications avancées de fabrication de dispositifs.
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