Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Solion XP #9171473 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Solion XP est un implant ionique et un moniteur qui permet un meilleur contrôle des processus et une implantation plus efficace. Il utilise une source d'ions magnétron horizontale à large balayage brevetée qui maintient une plage de sortie stable dans toute la gamme d'implants, ce qui permet un contrôle de dose constant. AMAT Solion XP est idéal pour les systèmes à déplétion multiple et à haut débit de dose, ainsi que pour les applications à débit de dose continu variable. L'équipement permet également des applications de doses ioniques multiples, permettant des débits de dose précis et l'uniformité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Les fonctions de contrôle automatisé de Solion XP comprennent des moniteurs de caractérisation du faisceau pour évaluer les caractéristiques du faisceau, y compris la qualité du faisceau, le niveau de contamination et le profil du faisceau. Un système de surveillance du courant de faisceau permet un contrôle précis de la posologie de l'implant lors de l'implantation à des vitesses allant de 0,2 nano-ampères/cm2 à des courants supérieurs. Avec ces capteurs, Solion XP peut compiler automatiquement un ensemble de paramètres du faisceau tels que le réglage du déflecteur, le courant du faisceau et l'intensité d'émission du faisceau. L'implanteur ionique utilise une unité avancée de balayage des faisceaux et un déflecteur à axes multiples pour améliorer l'uniformité. Pour améliorer la sécurité, AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP utilise une machine d'arrêt d'urgence et de sécurité en cas d'urgence pour éteindre la poutre. Il dispose également d'une pompe à vide interne qui aide à réduire les niveaux de contamination. En tant que dispositif de sécurité supplémentaire, AMAT Solion XP comprend un outil d'intervertissage optique qui ferme le faisceau si l'armoire est ouverte. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Solion XP comprend une gamme complète de systèmes de régulation automatique de la température et de la pression, y compris un dispositif de chauffage à commande PID, un régulateur de pression à zéro et un régulateur de température. Un atout de contrôle du débit de gaz permet d'améliorer la précision lors de l'implantation d'éléments lourds et maintient le faisceau sur des temps d'implantation prolongés. Outre ses capacités d'implantation ionique, Solion XP comprend des fonctionnalités supplémentaires qui améliorent encore son contrôle des processus et sa productivité. Un modèle de surveillance nucléaire est intégré aux mécanismes de protection contre les radiations et de sûreté pour détecter les radiations à faible intensité énergétique. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP fournit des capacités diagnostiques pour évaluer la performance des composants de chambre et évaluer la qualité et l'uniformité des implants. Un équipement de surveillance RF, qui est étroitement couplé aux systèmes de surveillance des faisceaux, surveille les niveaux d'énergie implantés, tandis qu'un système d'enregistrement des données en temps réel et une unité d'enregistrement des mémoires par lots garantissent que tous les paramètres d'implantation sont correctement enregistrés. Dans l'ensemble, les fonctionnalités avancées d'AMAT Solion XP en font un choix idéal pour améliorer le contrôle de la dose, l'uniformité et la sécurité lors de l'implantation ionique.