Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 Leap II #9174553 à vendre en France
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Vendu
ID: 9174553
Ion implanter, 8"
Processor module
Beam line module
Source services module
Processor rack
Heat exchanger / PDU
Mobile PC and desk
Monitor
Control module (VME)
Signal tower
TEM Probe
Mains matching TX
No VESDA smoke detector
No ISO TX
Beamline, controller PSU and assembly:
Pre accelerator / Mag controller
Vacuum controller
Post A controller
Turbo controllers
Focus PSU
A-Mag PSU
Pre A converter PSU
Source mag PSU
Suppression PSU
No Decel PSU
Beam path components, source / Extraction / Flight tube / MRS and PFS assy:
Source head type: IHC
Extraction type: Dual bellows
Flight tube
MRS
Pre defining
PFS Type: STD PFS
Gas cabinet (Source services):
Module: SDS / HP
GeF4: HP
BF3: HP
(2) Modules: SDS
Purge module
PSU, Controllers and assembly:
Gas and temperature controller
Filament PSU: XANTREX
Arc PSU
Bias PSU
DPS
Pre A HV stack
Source ISO TX
Vacuum system:
LEYBOLD 1000C Source turbo pump
LEYBOLD 361C MRS Turbo pump
TURBOTRONIK NT20 Turbo pump controller
EDWARDS QDP40 Beam line dry pump
CTI CTI-10 Side cryo pump
CTI CTI-10 Rear cryo pump
Processor PSU controller and assy:
Wheel and components
Spin motor
Gripper
Transfer arm
Clip actuator
Blade
A/B Sensor
Tilt assembly: 0-10
PFS DP Box
Beam stop
Beam profiler
Filament PSU (PFS)
Wafer loader / Mini environment assembly:
Carousel
Indexer
W/L Door
Orientor: Notch
(3) Cassettes / Trays
XR80 Arm servo PSU
XR80 Arm servo controller
Control rack:
DAQPDU
Target system
W/L Controller
W/L Vacuum
Ground PDU
Target system vacuum
Spin / Scan controller
Direct drive interface
Plasma flood chassis
Scan amplifier
Spin amplifier
Spin / Scan PDU
Bleed resistor
MOTECH 80
VME:
PMAC Vac / Atoms
CPU Main board
Loop controller
Energy level: 2-80 keV
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR80 Leap II est un implant et un moniteur ionique, spécialement conçu pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Il permet d'implanter des ions de haute précision dans le matériau, ce qui conduit à un profil de dopage très uniforme. Il dispose d'une source de faisceau variable avancée, qui permet un contrôle précis de l'énergie et du dosage des ions. La source d'ions est équipée d'un générateur de champ magnétique de haute précision pour une déflexion précise du faisceau. Le moniteur ionique AMAT xR80 Leap II dispose d'un équipement d'étalonnage avancé qui utilise des retours d'information en temps réel pour garantir la qualité fine des données, ainsi que des contrôles de sécurité automatisés pour assurer une implantation uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Il utilise une Plate-Forme Optive Adaptative (AOP) pour mesurer et ajuster la dose en temps réel, ainsi qu'un réseau de photodétecteurs multi-canaux pour recueillir des informations détaillées sur la position. AMAT xR80 dispose également d'un système d'alignement de faisceau intelligent (SBAS), qui élimine le besoin d'intervention manuelle et permet de placer des ions de haute fidélité dans la plaquette. Le SBAS s'assure également que la dose est réglée et maintenue avec précision sur une gamme d'angles et de distances. Le xR80 bénéficie d'un taux de défaillance très faible, grâce à sa conception robuste et à son unité de surveillance des capteurs. Il est également capable de chauffer la plaquette à 10˚C zéro absolu près, en veillant à ce que les ions restent en place quelles que soient les conditions environnementales. En termes de sécurité, APPLIED MATERIALS xR80 Leap II est équipé de dispositifs de sécurité et a été certifié pour la conformité USDOT (U.S. Department of Transportation). L'enceinte est recouverte d'inhibiteurs antistatiques, ce qui la rend conforme aux dernières normes CE. Il dispose également d'une connexion de sécurité, permettant seulement au personnel autorisé d'être à proximité. XR80 Leap II est un tout-en-un implant et moniteur ionique, conçu pour aider les utilisateurs à obtenir un dopage propre et uniforme dans leurs plaquettes semi-conductrices. Il dispose d'un réglage avancé des faisceaux, d'une machine de contrôle de la qualité des données en temps réel et d'une variété de caractéristiques de sécurité, ce qui en fait un excellent choix pour tout laboratoire ou environnement de fabrication.
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