Occasion VEECO Nexus IBE 350i #9186537 à vendre en France

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Fabricant
VEECO
Modèle
Nexus IBE 350i
ID: 9186537
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2007
Ion beam etching system, 6" Currently installed and stored in cleanroom 2007 vintage.
VEECO Nexus IBE 350i est un équipement IBE fabriqué par VEECO Instruments Inc. Le système utilise un procédé de fraisage ionique unique pour modeler des surfaces sur des substrats de la gamme des nanomètres. L'IBE est un graveur spécialisé qui utilise des ions énergétiques pour éliminer le matériau de la surface du substrat. Ce procédé permet d'éliminer des matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium, les polymères, les métaux et les matériaux diélectriques avec une excellente sélectivité de gravure et des caractéristiques de haute résolution. L'unité fonctionne en bombardant d'abord la surface du matériau avec un faisceau énergétique d'ions. Ces ions pénètrent à la surface et provoquent la rupture de liaisons chimiques, libérant du matériau du substrat. Ce procédé est connu sous le nom de pulvérisation et représente la majorité du processus de gravure. Le Nexus 350i utilise une machine spéciale à double faisceau qui permet à la fois la pulvérisation et la gravure à la fois. Cela permet un temps de gravure plus rapide et un meilleur contrôle du processus. En plus de l'outil à double faisceau, le Nexus 350i est également capable de fournir des niveaux élevés de courant ionique avec sa technologie brevetée de diodes à faisceau ionique. Cette technologie est capable de générer des densités de courant ionique extrêmement élevées de plusieurs watts/cm2 ou plus. Ce haut niveau de courant est combiné avec une excellente précision, ce qui permet de graver des caractéristiques avec une résolution inférieure à 0,2 nm. Le Nexus 350i dispose également de deux chambres principales pour une polyvalence d'application optimale. La chambre principale est utilisée pour la gravure et la chambre secondaire est utilisée pour la pulvérisation. Les deux chambres sont équipées de deux sources pour le contrôle des faisceaux et le balisage. L'actif est maintenant intégré avec un modèle de contrôle d'automatisation avancé qui permet une configuration facile et le réglage des paramètres de processus. En conclusion, Nexus IBE 350i est un graveur avancé capable de produire des niveaux élevés de précision et de résolution avec des temps de gravure rapides. L'équipement à double faisceau et la technologie IBE de pointe donnent au système des performances et une précision optimales, ce qui lui permet d'être utilisé pour une grande variété d'applications de gravure.
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