Occasion VEECO / DEKTAK RF350 C2 IBE #9124214 à vendre en France
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Vendu
ID: 9124214
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 1997
Ion beam etcher, 6"-8"
Process modules transport module systems include:
BROOKS Automation robot wafer handler system
Loadlock A & B
Electronics cabinet contains:
(2) APC 450 UPS
Raritan compu-switch
Industrial PC
(2) LEYBOLD INFICON IG3 Vacuum gauge controllers
LEYBOLD NT20 Turbovac controller
(2) SORENSEN DCS60-18 Power supplies
SORENSEN DCS20-150 Power supply
SPELLMAN SL300 Power supply
SPELLMAN SL1200 Power supply
Process modules include:
LEYBOLD MAG2000 Turbo pump & controller
CTI Onboard cyropump with fastregen sputtering module
CTI 9600 Compresser
RFPP AM-10/20 Auto matching network
ADVANCED ENERGY RF10M / RF20M Power supply
CTI Onboard controller RF matching network monitor
ADVANCED ENERGY RF-20MWC RF Generator
Main power distribution panel: 208V,100A
1997 vintage.
VEECO/DEKTAK RF350 C2 IBE est un équipement de fraisage ionique conçu pour la préparation et la caractérisation de surfaces de matériaux avancés. Il convient à la métrologie, à l'analyse des défaillances et à la planarisation de couches minces, ainsi qu'à de nombreuses autres applications. Le système utilise un faisceau focalisé d'ions énergétiques pour broyer la surface du matériau. Les charges utiles jusqu'à 350 mm peuvent être prises en charge, ce qui permet de fraiser des échantillons d'une large gamme de tailles et de formes. L'unité dispose d'une machine de commande automatisée, qui permet à l'utilisateur de définir les paramètres désirés pour le processus de fraisage. Une interface pilotée par ordinateur permet une manipulation aisée du faisceau d'ions dans deux plans de mouvement. Il permet également de créer des caractéristiques fraisées complexes à la surface de l'échantillon. L'outil est équipé d'un atout numérique haute résolution image/vidéo pour l'acquisition d'images/vidéo de la surface fraisée. Le modèle présente des caractéristiques de sécurité avancées, telles qu'un équipement de verrouillage qui empêche le fonctionnement du système lorsque la chambre est ouverte. Il contient également un bouton d'arrêt d'urgence. L'unité est conforme aux normes de l'industrie en matière de sécurité environnementale et d'efficacité énergétique. La machine de distribution de gaz est conçue pour assurer un contrôle précis du débit de gaz et de la production de particules, et assurer un minimum de déchets. En outre, l'outil utilise un actif avancé de refroidissement de l'eau qui minimise la consommation d'énergie et réduit les niveaux de bruit. Le modèle intègre également un équipement de nettoyage plasma entièrement automatisé. Cela permet d'éliminer la contamination de surface avant le broyage. Il est également capable de nettoyer chimiquement les parois de la chambre pour assurer la qualité de la surface de l'échantillon à fraiser. Dans l'ensemble, VEECO RF350 C2 IBE est conçu pour fournir un système de préparation et de caractérisation de surface efficace et précis, tout en assurant une sécurité maximale et en protégeant l'environnement. L'unité est une solution idéale pour diverses applications en métrologie, analyse des défaillances et planarisation de couches minces.
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