Occasion BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign #9149904 à vendre en France

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BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign
Vendu
ID: 9149904
Projection mask aligner.
BSL/BÊTA LITHOGRAPHIE CARRÉE Micralign est un aligneur de masque avancé conçu pour répondre aux défis de la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs. Sa conception compacte, ses performances robustes et son interface utilisateur facile à utiliser en font une solution idéale pour les technologies basées sur le film et la lithographie. La principale caractéristique de ce dispositif est sa précision d'alignement, offrant des résultats avec une résolution de sous-micron. En alignement, le système utilise des lentilles de double focalisation qui produisent un plan de focalisation perpendiculaire à l'axe de la plaquette et un champ de vision égal à la taille de la plaquette. Cela permet d'assurer la plus grande précision dans l'alignement et l'enregistrement. En outre, son étage XY motorisé avec une précision de 0,1 mm assure une haute performance dans l'enregistrement de petites géométries, telles que des plots de liaison, des contacts et des lignes. BSL Micralign dispose également de fonctions de modulation de faisceau pour réduire les erreurs d'exposition et la nécessité d'un obturateur séparé. Cela permet un temps d'exposition beaucoup plus rapide, réduisant le risque de longue exposition aux points chauds et froids. De plus, sa mesure dynamique de position du réticule assure une précision de mise en place du réticule, compensant tout mouvement dans le masque. L'appareil dispose également d'un système de surveillance de la lampe à quartz qui surveille l'intensité de la lampe pour minimiser la variation d'exposition entre les étapes du processus. La lampe peut être réglée automatiquement à son meilleur niveau d'exposition pour chaque condition de processus. Il comprend également un aplatisseur automatique qui compense toute irrégularité de surface, assurant un champ plat uniforme et réduisant la distorsion. Enfin, BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign est conçu avec une gamme de dispositifs de sécurité, tels que l'arrêt d'urgence, le verrouillage laser et la protection du champ électromagnétique. Le système est également fourni avec la protection des données de l'utilisateur, permettant le stockage et le traitement sécurisés des données sensibles de l'utilisateur. Dans l'ensemble, Micralign est un aligneur de masque avancé qui fournit une précision, une précision et une répétabilité élevées pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Sa taille compacte, son design robuste et son interface utilisateur facile en font une solution idéale pour les technologies basées sur le film et la lithographie.
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