Occasion OSI VLS-1 #40614 à vendre en France

OSI VLS-1 est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour détecter les défauts dans le processus de lithographie. Le système d'inspection utilise des techniques optiques sophistiquées avec des scans d'imagerie haute résolution pour détecter les irrégularités de taille micro- et sub-microns à la surface des plaquettes de silicium et des photomasques utilisés dans le processus de lithographie. Le cœur de l'unité VLS-1 est un grand microscope optique avec une capacité de grossissement maximale de cinq centièmes. Cela permet une imagerie précise pour détecter le plus petit des irrégularités sur les surfaces de la plaquette et du masque. Pour assurer la précision, le microscope est en outre équipé d'une machine d'éclairage multi-LED pour un contraste optimal de la lumière et de l'ombre, ainsi que d'un délimiteur de distance numérique pour une mesure précise sur les spectres d'imagerie. L'outil d'imagerie comprend également un actif de reconnaissance automatisée des motifs, permettant au microscope de représenter une « empreinte digitale » de la couche de motifs, et un modèle de détection automatisée des défauts qui peut identifier toute irrégularité pouvant affecter la qualité de la production. Avec ces systèmes en place, l'équipement est en mesure d'identifier rapidement les défauts qui peuvent exister en surface, et de fournir une rétroaction rapide sur le problème. OSI VLS-1 ne se limite pas à l'imagerie, car il comprend également une série complète d'options de tests non destructifs (NDT). Le système dispose d'une fonction d'induction électromagnétique (EMI), qui teste les raccourcis, les surintensités et autres anomalies qui peuvent résulter d'un mauvais traitement de la résine photosensible. De plus, l'unité peut également utiliser un mode d'impédance acoustique (AIM) et un mode Auto-Sampler (ASM) pour analyser davantage les plaquettes et les masques au niveau atomique. L'ensemble de la machine est protégé et surveillé par une solution logicielle avancée, appelée ProVS. Ce paquet entièrement intégré contrôle le fonctionnement de l'outil d'imagerie, fournit des performances en temps réel et permet l'accès et la gestion des données à distance. De plus, le logiciel peut également générer des rapports personnalisés, ainsi qu'un résumé des résultats de l'inspection. En général, le masque de VLS-1 et les utilisations d'actif d'inspection de gaufrette ont avancé hautement des techniques optiques et des options de NDT de découvrir toutes irrégularités qui pourraient avoir un impact potentiellement sur la qualité de processus de lithographie. Ce modèle s'est avéré être un atout précieux pour l'industrie des semi-conducteurs, et fait confiance aux marques mondiales dans ce secteur.