Occasion EPI 930 #9171186 à vendre en France

EPI 930 est un équipement d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) fabriqué par Riber, Inc. C'est un système de traitement à plusieurs colonnes et sous vide capable de développer des matériaux épitaxiés avec la plus haute qualité et la plus grande précision. Il est généralement utilisé pour fabriquer des circuits intégrés, des cellules solaires et d'autres dispositifs optoélectroniques. La 930 présente une disposition à six colonnes, ou « aile de mouette », qui la rend bien adaptée à la croissance multicouche, comme un super-réseau ou une hétérostructure. Les colonnes sont positionnées de telle sorte que les différentes cellules d'effusions, sources, pistolets et vannes soient toutes centrées au centre de l'unité. Ceci permet à tous les réactifs de parcourir des trajets parallèles au substrat avec des pertes minimes. Cela permet à son tour à l'utilisateur de développer une variété de matériaux tels que GaAs et InP. La machine dispose d'un environnement à vide élevé (< 1E-9 mbar) qui est constamment filtré et régulé à l'aide d'une pompe turbomoléculaire soutenue par un piège froid et un getter ionique. Cela permet un environnement de croissance le plus propre possible pour maximiser la qualité et la précision. En outre, un moniteur de pression de base de chambre à distance assure que la pression d'équilibre est maintenue en tout temps. Par ailleurs, une source de silicium polycristallin à faible débit est intégrée dans l'EPI 930 pour mieux contrôler le dopage de fond des couches cultivées. Afin de contrôler la température et de faciliter la croissance, la 930 dispose d'un évaporateur e-faisceau à faible masse thermique, d'un chauffe-wafer à verrouillage de charge et d'un outil de dosage du gaz. Le chauffe-wafer à verrouillage de charge est en contact direct avec le substrat, assurant précision et chauffage uniforme. Il est capable de températures allant jusqu'à 700 ° C, permettant à l'utilisateur de cultiver une variété de semi-conducteurs, de métaux et d'alliages. De plus, un contrôleur logiciel intégré permet une manipulation facile et précise des réactifs à partir d'une console centrale unique. Cela permet de réduire les coûts d'exploitation et les déchets matériels. De plus, l'actif EPI 930 est construit sur une base flottante sans vibrations qui empêche toute erreur basée sur le mouvement. Cela permet des niveaux de précision et des rendements de production les plus élevés. Dans l'ensemble, 930 est un modèle MBE avancé à plusieurs colonnes qui permet la fabrication de circuits intégrés de haute précision, de cellules solaires et de dispositifs optoélectroniques. Cet équipement est très capable de fabriquer une gamme de matériaux avec une excellente précision et un coût de fonctionnement réduit.