Occasion AKRION GAMA #9154699 à vendre en France

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AKRION GAMA
Vendu
ID: 9154699
Taille de la plaquette: 8"
Wafer cleaner, 8".
AKRION GAMA (Generic Advanced Metrology Analyzer) est une solution sophistiquée pour une large gamme d'applications de métrologie sans contact dans l'industrie de la microélectronique. Grâce à des technologies avancées de microscopie à balayage, l'équipement est capable de mesurer un large éventail de paramètres de plaquettes avec une grande précision et précision. GAMA se concentre sur des paramètres tels que l'inspection des bords et de la distance, la hauteur des marches, la planéité, la taille, la reconnaissance de la forme, l'épaisseur, la coplanarité et l'inspection de surface. Le système est non destructif et utilise une unité optique télécentrique, qui assure des mesures précises sur l'ensemble de la plaquette avec une dérive minimale. Utilisant des techniques de balayage laser et d'interférométrie, AKRION GAMA produit des mesures cartographiques 3D de l'échantillon entier en un seul balayage. Ceci permet d'analyser des caractéristiques à haut degré de confiance, par exemple la détection de contamination de particules. GAMA se compose d'un module de contrôle convivial, d'une machine automatisée de traitement des plaquettes, d'un outil d'imagerie haute résolution et d'un outil de positionnement d'échantillons. Le module de contrôle est basé sur PC et fonctionne seul, permettant un contrôle intelligent de l'ensemble du modèle. L'équipement automatisé de manutention des plaquettes peut traiter jusqu'à 300 mm de plaquettes dans une grande variété de tailles. Le système d'imagerie haute résolution a une résolution axiale de 0,5 micron et est capable d'acquérir jusqu'à 1,0 million de lignes de données d'image en un seul balayage. L'unité de positionnement de l'échantillon permet des mesures sous microns précises. L'alignement de l'échantillon est assuré par une routine d'étalonnage automatique qui balaie plusieurs points de jauge autour de la plaquette entière. La machine peut mesurer n'importe quel échantillon non destructif, pour autant qu'il s'adapte aux porte-échantillons standard. AKRION GAMA est livré avec un logiciel puissant de traitement et d'analyse de données. Le logiciel peut être utilisé pour visualiser, analyser et rapporter les résultats pour les petits et les grands échantillons. L'outil comprend également des scripts spécifiques à GAMA qui permettent aux utilisateurs de personnaliser le logiciel en fonction de leur application particulière et des exigences. AKRION GAMA fournit une solution puissante, précise et fiable pour un large éventail d'applications de traitement des plaquettes, allant de l'identification et de la mesure des substrats à la détection avancée des particules et à l'analyse des pannes. Sa configuration flexible et son contrôle automatisé font de GAMA un choix parfait pour tous les besoins de traitement des plaquettes.
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