Occasion ACCUTHERM AW 820V #9185477 à vendre en France
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ID: 9185477
Taille de la plaquette: 2"-8"
Rapid thermal processing system, 2"-8"
Vacuum pressure: 50m Torr to 13 Torr / 13 Torr to 760 Torr
Ramp up rate: 10°C to 120°C per/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-600 sec/step
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
Maximum: 1250°C
K-Type TC temperature accuracy: ±1°C
Thermocouple temperature accuracy: ±0.5°C
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±8°C across a 8"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Main frame with wires
Pentium® class computer with touch screen monitor, 15"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Door plate with TC connection port
Top and bottom quartz windows
Heating module with 27 (1.2kW) radiation lamps
(4) Bank zones
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Oven control board
Main control board
Quartz tray: 5"-8" Round wafer
(2) Gas lines with gas MFCs with shut-off valve
Main vacuum valve
Options:
Atmospheric process function
Vacuum pressure measurement and control function
Turbo pump for up to 10-6 Torr
Vacuum pump:
Mechanical
Dry
Multiple process gases
MFCs (Up to 4) with gas control board
K-Type TC assembly for high temperature
Carrier / Susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Omega meter thermocouple calibration
Shutt-off valve for quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Vacuum RTP RTA
Stand alone
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(27) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube: No
Gold plating plates:
Top and bottom in lamp module only
Water cooled oven chamber
Substrate size, 8"
Substrate thickness: <10 mm
Substrate materials:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250/1500°C
Temperature sensor: TC, Special TC
Longest steady time @1000 °C: 30 mins
Vacuum pressure control:
50m Torr to 13 torr (Option) / 10-6 Torr
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Susceptor size: 4, 5, 6, 8, 4"x 4”, 5" x 3”, 16" x 2”
Base pressure: 50m Tor / 10-6 Torr
Options:
Omega meter: CL23A
Process gas lines with MFCs: 2, 3, 4, 5
Atmospheric function
Susceptor: Base and cover
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 100
CE Marked.
ACCUTHERM AW 820V est un four industriel de haute performance utilisé pour une grande variété d'applications de traitement thermique et de séchage. Le four est disponible en six tailles standard pour accueillir des produits de différentes tailles et formes au cours d'un cycle de production. AW 820V est un équipement de four très fiable et efficace, équipé d'un système avancé de brûleur et de contrôle ACCUTHERM. La plage de température va de l'ambiante à 850 ° C, avec une stabilité de température extrêmement précise et stable (± 1,5 ° C ou mieux). Il est également capable d'un fonctionnement intermittent - permettant à l'utilisateur final d'allumer l'appareil au besoin, et de l'éteindre lorsqu'il n'est pas utilisé. Le four est conçu pour être facile à utiliser, avec des interfaces utilisateur intuitives et des équipements de surveillance, tels qu'un écran tactile écran LCD et un contrôleur PLC. Le four dispose également d'une machine d'autodiagnostic qui détecte tout problème, fournissant ainsi une réponse rapide aux conditions d'alarme. L'outil de brûleur avancé ACCUTHERM permet un contrôle précis de la température et de la sortie en réglant en permanence la géométrie de la flamme et la pression de l'air d'échappement. En outre, le four est équipé d'une fonction d'économie d'énergie, qui réduit la consommation de carburant et améliore l'efficacité. Le four ACCUTHERM AW 820V est conçu pour la manipulation sécuritaire des matières dangereuses pendant le traitement thermique. L'actif est équipé d'un large éventail de dispositifs de sécurité, y compris un interrupteur d'arrêt automatique et manuel, des détecteurs de fumée et un interrupteur d'arrêt d'urgence en cas de danger d'explosion. Le four AW 820V est un modèle très efficace et fiable pour une grande variété d'applications industrielles de traitement thermique et de séchage. Il est conçu pour une sécurité maximale et une facilité de fonctionnement, et est livré avec un brûleur avancé et un équipement de contrôle pour une puissance thermique précise et la stabilité de la température. Il dispose également d'un mode d'économie d'énergie et de dispositifs de sécurité supplémentaires pour la manipulation sûre des matières dangereuses.
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