Occasion SEMITOOL 860S #16794 à vendre en France

SEMITOOL 860S
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
860S
ID: 16794
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL 860S Photoresist Equipment est un système de traitement par voie humide entièrement automatisé. Il est conçu pour la production en grand volume de dispositifs semi-conducteurs avec des géométries plus fines, nécessitant des processus précis et reproductibles. 860S est basé sur une plate-forme modulaire qui permet d'intégrer une large gamme de traitements dans une seule machine, y compris les processus « bande, propre, spin/removal et sec », fournissant une solution efficace et rentable pour les applications nécessitant des volumes élevés de débit. L'outil comprend un convoyeur à bande en acier inoxydable, un alignement manuel ou optique, des cloisons « maille ou tablier », et un module principal composé d'une unité de contrôle de processus, d'un logiciel, d'une pompe, de réservoirs et d'un filtre. Un module « sécheur » supplémentaire est disponible avec l'actif. L'unité permet une automatisation complète des processus avec l'utilisation de capteurs embarqués et de commandes automatisées. Le modèle comprend également un traitement isolé, une configuration par lots et des paramètres programmables pour une variété de combinaisons de substrat et de processus. L'équipement SEMITOOL 860S est conçu pour optimiser et contrôler les processus lors de la gravure et/ou du dépôt des couches photorésistantes restantes. Le système peut être configuré pour transporter et aligner avec précision les substrats et distribuer avec précision les produits chimiques requis sur la surface requise des substrats. L'unité utilise des volumes chimiques faibles, réduisant les coûts et les déchets. Les capteurs embarqués assurent un contrôle et une surveillance en temps réel pour ajuster les concentrations et les paramètres chimiques, ce qui permet d'obtenir des résultats optimaux. 860S machine fournit répétabilité et fiabilité dans le traitement des photorésistances pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Il permet de réaliser des économies grâce à un traitement rapide des matériaux de substrat, ainsi qu'à un entretien et un support faciles.
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