Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #119691 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 est un réacteur de dépôt physique en phase vapeur (PVD) polyvalent et performant conçu pour des procédés avancés à basse température. AMAT 0010-09750 est un outil HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputter) monobloc, avec une plate-forme flexible idéale pour les séquences de dépôts multicouches. L'équipement utilise une géométrie source de groupe de propriétaire et un contrôle de pouvoir 0-15KW en temps réel pour accomplir des taux élevés et une épaisseur de couche uniforme (UTL). Le système dispose d'une source de grappes magnétron multi-faces avec jusqu'à cinq zones de processus indépendantes, permettant différentes opérations telles que le dépôt d'une seule cible et la fusion d'un faisceau électronique double cible. Cela permet une variété de techniques de pulvérisation plasmatique différentes, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications telles que les diélectriques avancés et les revêtements ultra-performants. La chambre de chargement de 13 pouces peut accueillir jusqu'à six plaquettes de 6 pouces en une seule fois, et est compatible avec les produits solaires, MEMS et LED. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'unité de régulation de température avancée 0010-09750 permet une régulation précise de la température du substrat et des paramètres de processus. Deux pompes différentes (turbomachine et pompe sèche à deux étages) sont utilisées pour l'évacuation de la chambre de traitement et le contrôle efficace de la pression de base. La machine fonctionne à des températures comprises entre -90 ° C et + 150 ° C afin de permettre des durées de cycle variées, avec des configurations de chauffe multi-zones pour gérer avec précision les températures du substrat. L'outil a une fonction de lecture/écriture intégrée pour créer, exécuter et modifier les opérations de recette. Les recettes spécialisées peuvent être facilement stockées et récupérées, ce qui permet une flexibilité maximale. L'ordinateur hôte de l'interface utilisateur permet à l'opérateur de contrôler entièrement l'actif, ce qui facilite la surveillance et l'ajustement des paramètres du processus. Un logiciel actif d'analyse de la corrosion in situ est disponible dans le cadre du modèle offrant une analyse rapide à la volée. L'équipement est un excellent choix pour les clients qui nécessitent une vitesse de dépôt rapide, un contrôle précis des paramètres de processus et des séquences de dépôt multicouches.