Occasion AG ASSOCIATES Heatpulse 410 #9148956 à vendre en France

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ID: 9148956
Taille de la plaquette: 2"-4"
Rapid thermal processor, 2"-4" Quartz process chamber (21) Tungsten halogen lamps Closed-loop temperature control Fast heating and cooling rates Temperature range: 400-1250° C Steady-state temperature stability: ± 2° C Temperature monitoring mechanisms: Extended range pyrometer (ERP) Heating rate: 1-200° C/sec Cooling rate: max 150° C/sec Maximum non-uniformity: ±5°C across a 6″ wafer at 1150°C Implant: 1E16 50 KeV Implant uniformity ≤0.3% Steady state time: 1-9999 sec Process gases: Optional MFC, Up to 4.
AG ASSOCIATES Heatpulse 410 Rapid Thermal Processor est une machine de pointe utilisée pour la fabrication de circuits intégrés et d'autres dispositifs. Heatpulse 410 est conçu pour assurer un thermocyclage rapide et fiable des substrats semi-conducteurs dans un environnement étroitement contrôlé et répétable. Au cœur de AG ASSOCIATES Heatpulse 410 est un microprocesseur à haute vitesse et résistant à la corrosion, conçu pour fournir des cycles thermiques précis et rapides. Ce processeur assure des gradients thermiques minimes sur la plaquette, même en montée ou en descente. Le processeur est conçu pour obtenir un contrôle de température de haute précision et une excellente répétabilité du cycle. Heatpulse 410 intègre une protection RF avancée pour minimiser la contrainte thermique causée par les interférences du signal. Il dispose également de niveaux de bruit électrique ultra-bas avancés pour minimiser les interférences potentielles avec les signaux extérieurs et la diaphonie. AG ASSOCIATES Heatpulse 410 comprend un panneau de commande d'écran tactile embarqué avec des modulateurs de température, de pulsation et de régulation de température de chambre dédiés. Il dispose également d'une surveillance thermique en temps réel qui fournit à l'utilisateur une lecture continue des paramètres individuels de la plaquette tels que la température, la pression et la largeur d'impulsion. Heatpulse 410 est conçu pour supporter le traitement monobloc et par lots. Il comprend plusieurs profils thermiques embarqués qui permettent aux utilisateurs de configurer la machine pour répondre à différents types de traitement. De plus, la machine peut être configurée pour répondre à différentes exigences du processus thermique, telles que la vitesse maximale de chauffage, la vitesse maximale de refroidissement et la durée maximale de trempe. En termes de sécurité, AG ASSOCIATES Heatpulse 410 est construit avec des caractéristiques de sécurité avancées telles que des capteurs à haute température et une gestion de la puissance sans panne pour protéger la machine des défauts matériels et logiciels. La machine dispose également d'un système de refroidissement multi-points qui peut être utilisé pour refroidir la plaquette en cas d'urgence. Dans l'ensemble, Heatpulse 410 est un processeur thermique rapide avancé et fiable conçu pour assurer un contrôle de température serré et une excellente répétabilité. Il dispose d'un microprocesseur très avancé, d'une protection RF fiable et d'une surveillance thermique en temps réel. En outre, il comprend diverses caractéristiques de sécurité telles que des capteurs à haute température, une gestion de l'alimentation sans panne et un système de refroidissement multipoint.
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