Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9206297 à vendre en France

ID: 9206297
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Rapid thermal processor (RTP) system, 12" (2) Process chambers (3) FOUP Carrier ID reader: Hermos RF CID SECS / GEM MBC Soak anneal controller Low temperature option: Including low temperature MBC Fast cooling option: FAC / USJF Low concentration processing kit Over pressure control Gasses: N2, 20 SLM N2, 150 SCCM O2, 150 SCCM O2, 20 SLM O2, 2 SLM Ar, 150 SCCM Ar, 20 SLM O2, 200 SCCMO APF Faceplate 2005 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour fournir des capacités de traitement thermique précises. Il utilise une conception unique pour maximiser le débit et augmenter la productivité. AST Helios utilise plusieurs fonctions de contrôle en temps d'exécution, fournissant un contrôle précis de la température dans la chambre. Cette précision thermique est obtenue grâce à une variété de techniques thermostatiques, y compris le PID (proportionnel, intégral et dérivé), des systèmes robustes de régulation de la température du coeur et une surveillance indépendante des zones de processus. Ceci assure un contrôle précis de la température de chaque substrat traversant la chambre. STEAG Helios offre également des vitesses incroyables, permettant à la température d'augmenter et de descendre rapidement. Cela permet d'augmenter le débit, car toute la population du substrat peut être traitée en une seule fois. MATTSON Helios peut atteindre des températures allant jusqu'à 1300 ° C en moins de 10 secondes. En plus de la vitesse rapide et du contrôle précis de la température qu'offre Helios, il a une conception peu encombrante. Il ne nécessite qu'une empreinte plus faible pour son fonctionnement. STEAG/MATTSON/AST Helios peut être facilement installé et retiré, offrant une option pratique pour les applications industrielles et de laboratoire. Il est également facile à programmer, permettant d'utiliser des applications personnalisées. L'AST Helios offre également un certain nombre de caractéristiques de sécurité, telles qu'une conception de chambre ouverte, des soupapes de contrôle de pression, un bouton d'arrêt d'urgence et des systèmes de protection multipoints. Ces caractéristiques protègent le personnel, l'équipement et l'environnement. Avec ses temps de traitement rapides, sa précision et ses caractéristiques de sécurité, STEAG Helios est un choix idéal pour tout système de traitement thermique rapide. Avec sa conception polyvalente, ses vitesses rapides et ses caractéristiques de sécurité avancées, MATTSON Helios est sûr de rendre les applications de traitement thermique plus faciles et plus productives.
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