Occasion HITACHI S-9300 #9032647 à vendre en France
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Vendu
ID: 9032647
Style Vintage: 2001
CD Scanning electron microscope, 8-12"
Electron optical system:
Electron gun: SCHOTTKY Emission source
Electro magnetic lens:
3-Stage electromagnetic lens system with boosting voltage
Objective lens: (4) Openings click stop
Heated aperture is selectable / Adjustable outside the vacuum
Scan coil:
2-Stage electromagnetic deflection
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x to > 300000x
Field control method: Continuously on for sample discharging at all voltages
Wafer imaging ability; Entire surface of 8” (or 12”) wafer
Depth of focus: >= 1.0 um at 80000x magnification
Resolution: 3 nm (800V) Retarding / Boosting mode
Hitachi probe tip
Power: 208 V 60 Hz 6 kVA 1 Phase
CD Measurement principle: Cursor and line profile measurement
Optical microscope system:
Image is monochrome
CCD Camera
Magnification is 110x
Wafer imaging:
X Coverage from 5 – 295 mm
Y Coverage from 5 – 195 mm
Notch down
Field of view: 1.2 mm
Accelerating voltage: 500 V to 1600 V, 10 V steps
Probe current: 4~24pA
Workstation:
Model: HP B180L (9GB)
O/S: Unix version HP-UX 10.20
Software version: 14.71
SECS / GEM Communication interface
Dual XY HITACHI micro scale
DSP Image processing
BSE Mode functionality
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Automated image archiving function
Wafer handling system: (2) Cassette holders / ergo flippers
Convertible to 300 mm with conversion kit BRK-287006300
Water chiller unit
Main unit:
HV Controller
Lens PS unit
DEF PS Unit
Laser receiver unit
X-Axis laser unit
Laser linear scale cover
X-Axis excel precision PCB
Y-Axis excel precision PCB
STSensor PCB (R)
STSensor PCB (R)
STSensor PCB (L)
Secondary electron detection: SE and BSE electrons
Aperture ass'y
Ion pump 1, Ion pump 2, Ion pump 3 & controller
TMP1, TMP2 & controller
Stage controller
Display Unit:
Display of SEM and OM images, GUI operation screen
HP Workstation (B180L)
Keyboard & Mouse
FDD
MO Disk drive
System controller
ECPU 263 Controller
C-820A Controller
4500 COGNEX Controller
NMEN Controller
SIP Controller
PSDISP Controller
NSGVA Controller
EOCONT Controller
NOMAFC Controller
STAGE EBSI100 Controller
WT EBSI100 Controller
EVAC EBSI100 Controller
HV EBSI100 Controller
AMHSIO Controller
Power unit:
NIP Board
PS CN PCB
UPS Unit
Main power switch unit
ION pump power supply unit
Power distribution unit
Transformer unit
Port 1:
Door case
EFEM Unit:
Robot ass'y
Ceramic arm
Prealigner
Includes:
Load port 1
Load port 2
WT Controller
Chiller
Option:
Dry pump
Missing parts:
Display unit:
SIP Board
Cognex 4500 board
LAN HUB unit
HDD
Currently de-installed
2001 vintage.
HITACHI S-9300 est un microscope électronique à balayage (SEM) conçu pour une utilisation avancée dans le domaine de l'analyse des matériaux. Il offre une large gamme de capacités d'imagerie incluant un grossissement élevé, une résolution supérieure et une variété de façons de faire des images. La colonne électronique de HITACHI S9300 est capable de grossissements astronomiques jusqu'à × 570 000 avec une résolution de 2,5nm, ce qui lui permet d'avoir un aperçu des zones où les microscopes optiques traditionnels sont incapables d'atteindre. En conséquence, il peut représenter des structures à la fois grandes et petites avec une clarté extrême, ce qui le rend idéal pour l'analyse microscopique. Le microscope est équipé d'un canon à émission de champ (FEG) à hexaborure de lanthane (LaB6) et d'un canon à émission de champ de Schottky (FE) centré CS qui permet des performances plus élevées aux grossissements plus élevés. De plus, son réglage multi-focus permet aux utilisateurs de basculer entre deux grossissements tout en maintenant un focus fixe. Le SEM dispose également d'un ensemble complet de détecteurs, dont un détecteur d'électrons secondaire, un détecteur d'électrons à balayage par émission de champ, un détecteur de rayons X à dispersion d'énergie (EDS), un détecteur de rayons X à dispersion de longueur d'onde (WDS), un détecteur de rayons X monochromatique et un détecteur de fluorescence à rayons X (XRF). Ce large éventail de détecteurs permet aux utilisateurs d'acquérir plus facilement des données de n'importe quel matériau qu'ils examinent. En outre, le SEM a une variété de modes d'imagerie préprogrammée, tels que l'imagerie électronique rétrodiffusée (ESB), l'imagerie de contraste de tension accélérée (AVM), l'imagerie électronique réfléchie (REI), et plusieurs modes de tomographie d'imagerie. Dans l'ensemble, le S 9300 est capable de produire des images incroyablement détaillées de matériaux à des grossissements élevés, tout en disposant d'une large gamme de détecteurs et de modes d'imagerie. Ses caractéristiques et ses capacités en font un outil précieux pour quiconque cherche à étudier le fonctionnement intérieur des matériaux.
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