Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600 #185058 à vendre en France

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ID: 185058
Style Vintage: 2007
SiN PVD Sputter systems (10) Chambers Currently de-installed 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600 est un système de pulvérisation spécialement conçu pour des applications technologiques avancées dans un large éventail d'industries. Il est capable de déposer des couches minces sur des substrats tels que le silicium, l'arséniure de gallium et le verre selon les spécifications souhaitées. AMAT ATON 1600 présente un faisceau aléatoire à haute énergie d'ions qui pénètrent dans le matériau cible, frappant ses atomes qui deviennent ensuite une vapeur avant de se condenser sur le substrat. Ce procédé, appelé technologie de pulvérisation ionique, offre une meilleure uniformité et densité par rapport aux techniques traditionnelles de pulvérisation et est capable de déposer et de graver. Le système est équipé de trois cathodes sources, chacune pouvant contenir un maximum de 1.6KW. Il dispose de sources de pulvérisation multi-cibles pour une utilisation optimale de la chambre. Son uniformité supplémentaire est améliorée grâce à son contrôle électronique numérique à plat. Il dispose d'une alimentation puissante de 300 KW avec modulation de largeur d'impulsion étroite, fournissant un rendement de processus élevé. Converti en ions à basse énergie, il est capable de graver par pulvérisation avec des gaz réactifs pour différents besoins de traitement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ATON 1600 offre également une chambre de procédé de 36 pouces. Sa conception mécanique est capable d'extraire du matériau de dépôt dans de fortes conditions de vide. Cela lui permet d'obtenir des taux de dépôt plus élevés et des rendements de procédé améliorés avec sa vitesse de pompage accrue. Il dispose également d'un ensemble de capteurs et de contrôles standard, permettant aux utilisateurs de surveiller le processus en temps réel. Son automatisation avancée est facilitée par une suite de logiciels faciles à utiliser. Cette suite logicielle est compatible avec un large éventail de systèmes de données et permet un contrôle complet des processus. Il peut surveiller et réguler activement les paramètres du processus, y compris la puissance, la pression, le débit, la température, et d'autres. Dans l'ensemble, ATON 1600 est un système de pulvérisation cathodique fiable et de qualité supérieure conçu pour les applications technologiques avancées d'aujourd'hui. Il est capable de produire un large éventail de matériaux pour le développement dans diverses industries, ce qui en fait une option pour les professionnels nécessitant une excellente uniformité, une grande stabilité de processus, un débit accru et un rendement de processus.
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