Occasion ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1 #9063447 à vendre en France

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ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1
Vendu
ID: 9063447
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1996
Chrome deposition system, 4" Installed in a cleanroom 1996 vintage.
L'équipement ANATECH HUMMER 8.1 est conçu pour le dépôt de revêtement et la préparation d'échantillons. Ce système de pointe dispose d'une unité de métrologie in situ automatisée, permettant un contrôle précis des pulvérisateurs et une analyse simultanée. TECHNICS HUMMER 8.1 est une machine de pulvérisation à vide à sources multiples avec une chambre de verrouillage de charge, capable d'une basse pression de 4 x 10-7 Pascal et un haut degré d'uniformité de pulvérisation sur une grande surface de substrat. La principale composante de ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1 est la source de pulvérisation. Il s'agit d'une source de plasma rotatif à haut courant capable de déposer une variété de métaux et d'alliages. La source de pulvérisation dispose de deux sections distinctes, permettant un contrôle précis du cycle d'utilisation des pulvérisateurs, du débit et de la pression du gaz, et de la température. La conception unique permet un contrôle indépendant des pulvérisateurs de chaque section. Cette source de pulvérisation est équipée du panneau Plasma View III qui fournit des données précises et fiables de surveillance du plasma. L'outil d'automatisation d'ANATECH HUMMER 8.1 est piloté par un actif informatique distribué dans le module contrôleur, fournissant une plate-forme complète mais flexible pour contrôler toutes les fonctions du modèle sputter. L'équipement d'automatisation comprend un panneau de commande avec commande analogique facile à utiliser et des lectures numériques. Il dispose également d'un système de verrouillage de charge qui permet un chargement rapide des substrats dans la chambre et un dépôt précis des pulvérisateurs. En outre, TECHNICS HUMMER 8.1 dispose d'une unité de métrologie in situ unique qui permet un contrôle précis des pulvérisateurs et une analyse simultanée. Cette machine est déjà équipée d'une variété d'outils d'analyse, y compris l'analyseur de gaz résiduels, la spectroscopie électronique Auger, et le broyage d'ions Ar. Deux ports optiques sont également inclus, permettant en outre de surveiller le substrat lors des processus de pulvérisation. ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1 est conçu dans un souci de sécurité. Il est équipé de systèmes d'arrêt d'urgence et d'un aimant refroidi à l'eau pour plus de précaution. En outre, cet outil de pulvérisation est conçu pour fonctionner avec des performances fiables et des coûts de maintenance faibles dans un environnement à vide ultra-élevé. En conclusion, ANATECH HUMMER 8.1 est un actif de pulvérisation avancée capable de fournir des dépôts de pulvérisation précis et fiables pour une variété de métaux et d'alliages. Il dispose d'un modèle d'automatisation très flexible, d'un équipement de métrologie in situ et de systèmes d'arrêt de sécurité. Sa conception avancée permet un contrôle précis des pulvérisateurs, une analyse et un dépôt uniforme sur de plus grands substrats.
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