Occasion ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9165695 à vendre en France
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Vendu
ID: 9165695
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Wafer backside grinder, 12"
(4) Chucks mounted to an indexing table system
Auto cleaning unit
Windows NT based operating system
Rough grind station with thickness monitor
Fine grind station with thickness monitor
Integrated polish station with conditioning unit
Graphical user interface (GUI)
LCD Touch panel
Frame laminating system
Alignment system
Front-side wafer de-taping system
Backside OCR
SEMI S2-93 Certified
Options:
By passable door interlock for PG, RM and slurry supply unit
Pad thickness parameter: Allow up to 6 mm pad
2 Channel temperature control unit for cooling spindle
Heating polish head
In-line UV system
Post process thickness measurement gauge
DAF Tape laminator for Pre-cut tape (DAF / Dicing tape)
(1) US Standard facility adapter kit
OCR / BCR (RM unit)
(3) BCR for Input carriers
Interface: SECS / GEM
8" Notched wafer kit for PG300
8" Notched wafer kit for RM300
(2) 8" Wafer cassette / Frame adaptors
Bar-code printer unit
(9) Slot cassette capability
Auto lot split capability
Gas (With (2) cameras for street alignment)
RFID For spinner chuck
Missing parts:
(1) Load port A
(1) 12" H1 Arm
(1) 12" H2 Pad
(1) 12" Spinner table
(1) 12" H4 Pad
(1) 12" Mounting table
(1) 12" Outer ring frame table
(1) 12" Peeling table
(2) Load Port bar code readers
(2) PG Touch screen panels
(1) CCD Camera and controller
(1) Spinner LED
(2) RM Pro-face monitors
2006 vintage.
ACCRETECH/TSK PG 300 RM est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'une solution complète pour la production de plaquettes minces à la fois haute planarité et haute qualité de micro-rugosité. Ce système peut précisément contrôler les processus de broyage, de nappage et de polissage pour obtenir la planéité et la rugosité de surface souhaitée. Il dispose d'une meule spécialement conçue, d'une plaque de rodage et d'un tampon diamant pour s'assurer que tous les paramètres du processus sont maintenus au niveau requis. TSK PG300RM est une unité entièrement automatique qui est contrôlée par un PLC avec un panneau de commande d'équipement pour faciliter le fonctionnement. La machine se compose d'un cadre C et d'une table de meulage, entraînés par des servomoteurs, et d'une poutre transversale pour maintenir la meule, la plaque de meulage et le coussin de diamant. Le cadre C et la table sont conçus pour offrir une bonne stabilité et des propriétés d'amortissement des vibrations. Il dispose également d'un outil de nettoyage intégré pour s'assurer que la table de broyage est tenue exempte de débris. La meule et la plaque de rodage sont montées sur la poutre transversale et sont contrôlées avec précision par le PLC. La meule est utilisée pour le broyage rugueux et l'amincissement des plaquettes tandis que la plaque de rodage est utilisée pour le broyage fin et l'élimination de la poussière. Le tampon diamant est utilisé pour polir la plaquette à une finition lisse. ACCRETECH PG 300RM est également équipé d'une caméra CCD, qui peut surveiller le processus en temps réel. L'actif est capable de polir des plaquettes de dérive jusqu'à 300 mm de diamètre. Il peut également accueillir divers matériaux, tels que la silice fondue, le quartz et le saphir. L'ACCRETECH PG 300 RM est idéal pour produire des plaquettes de haute qualité avec une excellente planéité et rugosité de surface. Il s'agit d'un modèle complet pour le broyage, le nappage et le polissage des plaquettes, offrant une solution efficace et rentable pour les fabricants de semi-conducteurs.
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