Occasion ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9192084 à vendre en France

ACCRETECH/TSK PG 300 RM est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes principalement conçu pour la planarisation précise des plaquettes semi-conductrices. Avec sa technologie entièrement automatisée, le système fournit des résultats de polissage de haute précision. Il est capable de produire des surfaces planes sub-microns sur SOI et des plaquettes ultra-minces jusqu'à 75 μ m d'épaisseur. L'unité comprend un corps principal contenant un polisseur et les modules de broyage et de rodage, ainsi qu'une unité d'expédition de plaquettes et l'unité d'échange et de nettoyage d'outils de broyage, de rodage et de polissage. L'unité de chargement et de transport des plaquettes peut transporter plusieurs substrats jusqu'à 8 ", et le module de polissage contient une tête de polissage de 800 mm de diamètre qui peut tourner dans le sens horaire et dans le sens inverse des aiguilles d'une montre. La hauteur généreuse du tour de 8,5 cm assure des résultats améliorés dans les plus brefs délais. La machine intègre également une interface opérateur écran tactile qui permet un contrôle basé sur la recette, ainsi qu'une variété de paramètres de processus tels que la vitesse, la pression et la lubrification. L'outil de surveillance CCD (à couplage de charge) permet de vérifier l'état des plaquettes pendant le processus de broyage, de rodage et de polissage. Cela permet d'assurer une qualité et une répétabilité uniformes du produit. L'actif offre des technologies de processus telles que la technologie de broyage en une étape et en deux étapes, la technologie de polissage en deux étapes, la technologie de polissage à chaud et la technologie de polissage par voie humide dédiée. En outre, le modèle peut accueillir une variété de composants chimiques de boues pour fournir d'excellents résultats pour divers types de plaquettes. En raison de sa commodité, TSK PG300RM est un excellent choix pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Il est très précis et offre une excellente uniformité et répétabilité. En outre, il est facile à utiliser et est capable de manipuler la plupart des tailles de plaquettes et des matériaux avec une relative facilité.