Occasion ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9105667 à vendre en France

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ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600
Vendu
ID: 9105667
Wafer metrology system E Plus station Hi/Lo Res stations (5) Cassette elevator stations ACS Computer Optional non contact typing.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600 est un équipement puissant et polyvalent d'essai et de métrologie en boucle fermée, non destructif, fournissant une analyse de surface détaillée des écrans plats et des plaquettes semi-conductrices. Le système dispose d'un microscope optique haute résolution, de deux scatteromètres laser, d'une unité d'éclairage à bord éclairé, d'une sonde tridimensionnelle sans contact et de capacités avancées d'acquisition, d'analyse et de traitement des données. ADE UltraScan 9600 utilise des techniques d'optique et d'éclairage de pointe pour fournir une imagerie de surface supérieure des plaquettes, comme l'isolation des bords, la détection des caractéristiques et des mesures de surface détaillées. Les scatteromètres laser mesurent et affichent l'information de diffusion vers l'avant et vers l'arrière, permettant des mesures rapides et non destructives et l'analyse de la topographie de surface, de la profondeur de gravure et de la largeur de ligne. La machine d'éclairage éclairée par le bord, qui règle automatiquement le foyer, offre un contraste plus élevé et une meilleure identification de la surface. La sonde tridimensionnelle sans contact est utilisée pour mesurer et afficher l'épaisseur et la courbure des plaquettes, la rugosité de surface et d'autres paramètres topographiques. La sonde recueille également des informations en temps réel pour faciliter l'évaluation de la variabilité des processus. KLA ULTRA SCAN 9600 est hautement automatisé, offrant des tests de plaquettes rapides et reproductibles et une métrologie avec une résolution améliorée de l'outil et une vitesse d'acquisition des données. Il peut stocker jusqu'à 2000 ensembles de données par plaquette, ce qui permet une analyse exhaustive de la surface et un dépannage. En outre, l'actif est compatible avec une variété d'options de stockage de données et peut être intégré avec d'autres systèmes ADE pour des solutions de test de plaquettes et de métrologie sans soudure, de bout en bout. ADE ULTRA SCAN 9600 est un modèle fiable et efficace d'essai de plaquettes et de métrologie pour les écrans plats et les plaquettes semi-conductrices, permettant une analyse de surface détaillée et une optimisation rapide des processus.
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