Occasion ASM WS 896 #9060206 à vendre en France

L'ASM WS 896 est un pas de plaquette haut de gamme conçu pour les fabricants de wafers semi-conducteurs à faible et à haut volume. ASM WS896 est capable de gravir des plaquettes jusqu'à huit pouces de diamètre et peut accueillir jusqu'à six cents plaquettes en un seul cycle de processus. Il dispose de technologies optiques et motrices de pointe, permettant la plus grande précision d'exposition de n'importe quel pas de sa catégorie. Le WS 896 est équipé de deux étages de balayage galvanométrique de haute précision, contrôlés par un équipement multi-processeur dédié. Ceci permet un traitement parallèle des opérations de balayage sur l'ensemble de la plaquette, ce qui permet d'obtenir des résultats cohérents aux vitesses maximales de débit de la plaquette. Les galvanomètres sont conçus pour fournir des performances de balayage de haute précision et la stabilité, tandis que le système multi-processeur augmente la réactivité et la précision de l'unité. Le stepper est également équipé d'un mécanisme d'auto-focalisation innovant, permettant des alignements précis entre la plaquette et l'optique. Son optique de faible grossissement permet également de maintenir une grande précision, même lorsque la plaquette contient des caractéristiques d'épaisseurs différentes. Le stepper est également livré avec une machine à étage pneumatique intégrée, qui assure des performances de pas et de répétition rapides et précises, avec une dérive minimale. En plus de ses optiques et moteurs, WS896 dispose également d'un outil de contrôle de mouvement avancé, permettant un contrôle précis du mouvement de l'optique et des étapes de balayage. Sa très faible latence et ses caractéristiques d'ondulation minimales le rendent idéal pour un fonctionnement à grande vitesse. Enfin, le stepper est équipé de capacités de suivi et de correction automatiques, qui garantissent le maximum de précision et de répétabilité. Dans l'ensemble, l'ASM WS 896 est l'étape idéale pour la production en grand volume de plaquettes semi-conductrices. Ses optiques, moteurs et systèmes de commande de mouvement de haute précision en font le choix idéal pour obtenir des résultats précis et reproductibles, à des vitesses et des débits élevés.