Occasion ASM WS 896 #9176106 à vendre en France

ASM WS 896 est un pas optique permettant un positionnement précis des plaquettes à des fins de lithographie. Il dispose d'une zone de balayage de 290mm avec une précision et une vitesse de couture élevées pour le plus haut degré d'uniformité, ainsi que d'un système de vision intégré et de chargement/déchargement automatique des plaquettes. Cela le rend bien adapté au développement de procédés de fabrication de semi-conducteurs. En utilisant des systèmes à axes linéaires motorisés à entraînement direct et une unité d'éclairage stabilisée, ASM WS896 est capable de maintenir une précision et une stabilité supérieures lorsqu'il fonctionne à sa vitesse de balayage maximale de 10 000 mm/seconde. Son design résistant aux vibrations offre une répétabilité de positionnement supérieure de ± 3µm, ce qui le rend idéal pour l'isolation des tranchées peu profondes et les processus de double-construction. WS 896 dispose d'un système de vision intégré et de chargement/déchargement automatique des plaquettes pour assurer un meilleur débit. La reconnaissance automatique des motifs sur l'étage supporte un alignement flexible pour les opérations simples et doubles. L'objectif de zoom motorisé permet un réglage de grossissement de 6x à 60x pour une résolution et une focalisation optimales. En outre, WS896 supporte divers outils d'exposition, des UV généraux aux UV. Avec ses nombreuses options d'exposition et sa grande flexibilité, les applications incluent la lithographie et la gravure pour les grands formats, ainsi que des masques simples et des couches d'alignement. ASM WS 896 balaye une gamme de tailles de plaquettes allant de 4 pouces à 12 pouces de diamètre, et peut supporter jusqu'à 8 couches de plaquettes dans un seul système. Enfin, son taux de défaillance exceptionnellement faible le rend bien adapté à un fonctionnement fiable à long terme.