Occasion ASML 300 #9047521 à vendre en France
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Vendu
ID: 9047521
DUV Stepper, 6"
Lens under N2 purge
Front end
Options:
SECS
REFL Image sensor
Arms
Pep 1 / Pep 2: Productivity upgrade
Reticle error compensation
Flatness model
LSQ Disto model
Mark sensor
Batch streaming
(2) Intensities
Focus monitoring
Aerial
IRIS
Flexible signal tower
Extended NA range
Focal adjustment
Extended exposure
TIS
Athena
Fast TTL alignment
Automated DOE exchanger
Phase modulator FTTL
Phase modulator OA
Alignment reports
Annular illumination
Athena allow high orders
Scribelane marks
(3) Library configurations
Visual alignment camera
1998 vintage.
ASML 300 est un pas de plaquette utilisé dans la fabrication de produits semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil de photolithographie qui permet un contrôle précis des motifs utilisés pour créer des transistors et d'autres composants sur la puce. 300 est un scanner à colonne à deux étages, ce qui signifie que la plaquette se déplace dans les axes x et y pendant l'exposition. L'étage est piloté par un moteur à courant continu à grande vitesse qui peut contrôler les étages avec une précision et une répétabilité au niveau du nanomètre. Le scanner contient également plusieurs éléments optiques, tels que des optiques, des lentilles et un séparateur de faisceau, qui sont utilisés pour façonner et façonner la lumière à projeter sur la plaquette. L'équipement est très intégré et flexible, permettant la manipulation et le contrôle de la lumière et du substrat. L'ASML 300 est un système à évolution rapide, doté de la technologie d'exposition la plus récente. Il intègre des fonctionnalités avancées telles qu'un contrôleur de mouvement, une motorisation, des générateurs d'impulsions microsecondes et une unité de vision intelligente qui analyse les expositions avec la technologie d'auto-calibrage. La machine utilise également une variété de détecteurs pour s'assurer de l'exactitude, y compris un outil de détection de bord de ligne, un microscope pour l'inspection de la zone, et un actif d'inspection visuelle en ligne pour l'évaluation détaillée de la surface. 300 a établi la norme de l'industrie pour la précision et la répétabilité dans le domaine de la photolithographie. Avec son mécanisme de balayage à deux étages, sa précision au niveau des nanomètres et son modèle d'auto-calibrage automatisé, ce pas de plaquette est un moyen fiable et efficace de produire des transistors haute performance et d'autres composants pour les micropuces les plus récentes. C'est le choix parfait pour la fabrication moderne de semi-conducteurs.
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