Occasion ASML AT 1150iS Twinscan #9197839 à vendre en France

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ASML AT 1150iS Twinscan
Vendu
ID: 9197839
Immersion lithography tool, currently installed in a cleanroom.
ASML AT 1150iS Twinscan est un pas de plaquette qui offre un traitement lithographique complet pour diverses applications uniques et multi-die. Il est conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes de l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs, offrant la plus grande précision et précision, tout en minimisant le coût total de possession. L'étage dispose d'un chemin optique à deux miroirs, permettant une résolution maximale de 12 micromètres. Cela permet d'assurer des résultats de processus reproductibles et des rendements cohérents, avec un débit amélioré pouvant atteindre 180 plaquettes par heure. L'AT 1150iS est conçu pour des exigences de lithographie haut de gamme avec des niveaux d'exposition inférieurs à 12 nano-joules par seconde. En outre, il a une taille de champ étendue allant jusqu'à 52 par 80 millimètres, ce qui permet de traiter une large gamme de tailles de plaquettes. L'AT 1150iS est équipé d'un contrôleur de mouvement à étage et pas à pas intégré offrant une excellente précision et précision sur une large gamme de conditions de travail. Les logiciels de contrôle embarqués peuvent être adaptés aux besoins de l'application, offrant un fonctionnement flexible et adaptatif. Le stepper offre également un système intégré de pompes à vide et de capteurs pour garantir le bon environnement pour un traitement précis et reproductible. En outre, AT 1150iS Twinscan dispose de la technologie brevetée ASML RealScan™, récompensée par « le meilleur du spectre » en reconnaissance de ses résultats supérieurs. Il utilise des capacités actives de correction de faisceau et de centrage de faisceau qui sont essentielles pour une résolution supérieure et des résultats répétables. Pour assurer une disponibilité maximale, ASML AT 1150iS Twinscan propose une gamme de fonctionnalités avancées conçues pour détecter et corriger les anomalies avant qu'elles n'affectent la production. Attention aux détails est montré avec un moniteur de particules intégré pour la détection immédiate des défauts, ainsi que la surveillance HealScan pour s'assurer de la précision de l'alignement. Dans l'ensemble, AT 1150iS Twinscan est une solution idéale pour les applications de lithographie exigeantes, offrant la vitesse et la précision pour maximiser l'efficacité et le rendement. Avec ses fonctionnalités flexibles et son fonctionnement puissant, les utilisateurs d'ASML AT 1150iS Twinscan peuvent être sûrs d'obtenir des performances et des résultats supérieurs.
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