Occasion ASML AT-850 #9198430 à vendre en France

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ASML AT-850
Vendu
Fabricant
ASML
Modèle
AT-850
ID: 9198430
Style Vintage: 2004
ARF Scanner Currently warehoused 2004 vintage.
ASML AT-850 wafer stepper est une machine automatisée de traitement de plaquettes pilotée par ordinateur utilisée dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il fonctionne en scannant un photomasque avec un laser ultraviolet puis en transférant le motif sur une plaquette. L'appareil est équipé de deux sources d'exposition différentes et d'une stratégie de balayage par digitalisation en plein champ pour la haute résolution. Cela permet une forme précise, la largeur de ligne, et le contrôle de distance ainsi que l'obtention de débit élevé. L'équipement est équipé de deux sources de lithographie - lasers excimères i-Line et ArF - qui peuvent être utilisées pour modéliser les caractéristiques à 135 et 193 nm, respectivement. Les deux lasers sont contrôlés en longueur d'onde et en cohérence, ce qui signifie qu'ils peuvent modeler avec précision des formes complexes à haute résolution. Le système dispose également de plusieurs algorithmes qui peuvent être utilisés en fonction des besoins du travail, optimisant le débit et la fenêtre de traitement. Les plaquettes sont transportées vers l'aligneur du masque à travers une unité de manipulation robotique et des robots SCARA, tous deux très précis et programmables. L'étage peut être programmé pour traiter une gamme de plaquettes, avec des tailles allant de 200 à 400 millimètres. Une fois que la plaquette est en place, elle peut être inclinée et inclinée sur le masque, qui a un champ de vision qui peut être ajusté pour répondre aux exigences du travail. Le pas de plaquette est également équipé d'une variété de détecteurs qui sont utilisés pour surveiller et contrôler le processus d'exposition. Cela comprend des interféromètres, des détecteurs pour mesurer le profil d'une plaquette à motifs, et des microscopes électroniques à balayage qui peuvent balayer l'ensemble de la plaquette à fort grossissement. Cela garantit que les motifs sont de la plus haute qualité et fidélité. Tous les paramètres qui doivent être modifiés au cours du processus lithographique peuvent être ajustés avec précision et rapidité avec le contrôleur de bord, qui est un PC Automation de qualité industrielle. Cela permet aux utilisateurs de programmer ou modifier facilement les paramètres et les temps d'exposition. Enfin, ASML AT 850 wafer stepper est également très économe en énergie, réduisant l'impact environnemental du processus. Certains modèles ont également une machine de récupération d'énergie intégrée, qui aide à récupérer l'énergie qui est autrement perdue pendant le processus d'exposition.
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