Occasion ASML AT-850D #9197016 à vendre en France

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ASML AT-850D
Vendu
Fabricant
ASML
Modèle
AT-850D
ID: 9197016
ARF Scanner.
ASML AT-850D wafer stepper est un équipement d'alignement optique très précis et précis utilisé dans le processus de fabrication de circuits semi-conducteurs intégrés. Il est équipé d'un système de positionnement simultané à 5 axes capable d'un alignement de précision nanométrique. Il a des dimensions de longueur : 19,7 pieds (6m), largeur : 9,3 pieds (2,8 m) et hauteur : 9,7 pieds (3m). ASML AT850D est une unité très avancée qui offre une fonctionnalité supérieure pour l'alignement des plaquettes. Il dispose d'une machine de codage linéaire très sensible avec une précision d'échelle de codeur de ± 1nm, ce qui garantit une excellente précision et répétabilité. Les progrès permettent un mouvement d'étape milliseconde. L'outil de commande clé en main de la machine permet de prévenir totalement la déformation des vibrations extérieures. AT 850D est conçu avec un équipement d'inspection automatisé qui peut détecter, analyser et maintenir l'alignement exact des plaquettes. Il a un modèle d'alignement total à 6 têtes, chacun capable de détecter jusqu'à 25 marqueurs sur une plaquette donnée. L'équipement est contrôlé par un puissant système de contrôle de processus qui se compose de plusieurs modules d'asservissement et de contrôle de mouvement, et de logiciels avancés. Le pas de plaquette peut accueillir un large éventail d'étapes d'alignement et comprend une unité intelligente d'indexation de plaquettes qui permet de multiples alignements de plaquettes par exposition. La machine complète traite presque n'importe quel motif d'alignement avec un haut degré de précision. Il utilise des algorithmes sophistiqués de calcul et de traitement d'images ainsi que des optiques avancées pour assurer un positionnement précis des plaquettes. La machine est également équipée d'un microscope avancé d'alignement des plaquettes de haute précision. Ce microscope offre aux clients une vue supérieure de la zone de collage des plaquettes. Il peut offrir jusqu'à 8μm l'exactitude plus d'une gamme d'erreur de 5 micromètres et peut résoudre des traits de 1 nanomètre de taille. L'outil est conçu avec un atout optique hautement optimisé qui fournit une faible distorsion optique. De plus, le modèle spécial d'éclairage produit une source lumineuse uniforme et de haute intensité qui élimine les points chauds et réduit la distorsion du circuit. Dans l'ensemble, ASML AT 850D wafer stepper est un équipement très précis et précis avec une large gamme de caractéristiques conçues pour fournir une précision supérieure dans la fabrication de wafer. Il est équipé de la technologie la plus récente pour garantir une précision et une répétabilité maximales pour l'alignement parfait des plaquettes pendant le processus de fabrication.
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