Occasion CANON FPA 2000 i1 #100914 à vendre en France

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Fabricant
CANON
Modèle
FPA 2000 i1
ID: 100914
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1991
i-Line Stepper machine, 6" Reticle: 5" Stored in a cleanroom 1991 vintage.
CANON FPA 2000 i1 est un pas de plaquette de haute précision, optique, haut de gamme. Il est utilisé pour la réalisation de structures semi-conductrices complexes ou de circuits intégrés (IC). C'est un équipement standard de l'industrie capable de fournir des motifs et des structures extrêmement précis avec une précision nanométrique. Le système est équipé d'une projection i-line et d'une source d'éclairage de 405nm μ -ROC (hors axe en mode réflexion). Cette combinaison offre une excellente précision et de petites taches grâce à la capacité de sa longueur d'onde à transmettre et à réfléchir la lumière efficacement. La plate-forme dispose également d'une unité d'alignement et de contrôle automatique à trois caméras hautement sensible. Cette fonctionnalité est utilisée pour aligner et contrôler avec précision une large gamme de géométries et de configurations de dispositifs, permettant un marquage et un masquage précis. La machine à étages de haute précision du stepper permet à l'opérateur d'ajuster et de positionner avec précision un dispositif de réglage précis. Ceci est réalisé à l'aide de contrôleurs de mouvement omnidirectionnels précis, qui fournissent vitesse et précision pour chaque réglage effectué. La fonction NPF (Digital Proximity Focus) permet à l'utilisateur d'aligner et de focaliser rapidement l'appareil, améliorant ainsi la précision et le débit. CANON FPA2000-I1 utilise également un système sophistiqué d'exposition et de résistance au contrôle. Ce schéma combine différentes techniques d'exposition telles que la modulation de largeur d'impulsion (PWM), l'exposition au dos, et l'exposition à long terme, pour assurer des résultats précis. L'outil supporte également un environnement de prototypage numérique complet, permettant une simulation et une optimisation rapides de la conception. Cet atout est idéal pour les applications qui nécessitent des motifs très précis avec des tolérances serrées et une excellente précision de surface. FPA-2000I1 offre un modèle optique de carte de contrôle haute résolution, permettant aux opérateurs d'inspecter un modèle d'appareil pour la précision et les défauts. Il dispose également d'un équipement de mesure d'image en quatre points qui peut détecter automatiquement les défauts critiques tels que le raccourcissement, le pontage et le désalignement. Le système offre en outre un large éventail d'outils de suivi des performances, y compris des outils de diagnostic et d'optimisation des performances. CANON FPA 2000 I 1 wafer stepper est une puissante plate-forme de production de haute précision capable de fournir des modèles précis avec la précision et la fiabilité du nanomètre. Sa combinaison de contrôleurs de mouvement très précis, de contrôle optique et de résistance, et d'outils de surveillance des performances en font une plate-forme idéale pour les applications critiques.
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