Occasion ADE / KLA / TENCOR 575 #9132534 à vendre en France

ADE/KLA/TENCOR 575 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes haute performance conçu pour l'inspection et le contrôle des plaquettes semi-conductrices. Ce système est capable de mesurer les caractéristiques électriques, optiques et physiques d'une plaquette semi-conductrice jusqu'à 5,75 pouces de diamètre. L'unité ADE 575 comprend une machine de contrôle optique avancée qui utilise un dispositif à couplage de charge (CCD) pour balayer la surface de la plaquette. Les capteurs CCD fournissent une inspection précise des surfaces supérieure et inférieure de la plaquette, détectant la forme et la taille ainsi que d'autres caractéristiques telles que les défauts. L'outil optique est également utilisé pour mesurer la réflectivité de la plaquette et la taille latérale des pores. KLA 575 comprend une station d'essai électrique qui mesure les caractéristiques électriques telles que la résistance, la fuite de courant, la capacité et la panne de tension. Cette station de test permet également un tri rapide et automatisé des bonnes et des mauvaises meurtrières. Une station de sonde électrique est intégrée au modèle, permettant de sonder une filière individuelle pour des tests de courant et de résistance. 575 comprend également une station de métrologie qui est utilisée pour mesurer les dimensions critiques telles que les longueurs de grille, les profondeurs de tranchées et les distances d'isolement. L'interférométrie laser de haute précision est utilisée pour mesurer des formes précises en 3D. De plus, le système TENCOR 575 comprend une fonction unique « Ensemble d'étude » qui permet de réaliser des études de processus complexes. Cette caractéristique permet la caractérisation complète d'un lot de plaquettes avec des corrélations au code de programme et l'analyse exacte des facteurs systématiques. Cette fonctionnalité permet également l'examen et l'analyse des données grâce à des capacités avancées d'analyse des données. L'unité ADE/KLA/TENCOR 575 fournit également un ensemble complet de logiciels pour le contrôle, le séquençage des essais et l'analyse des données. Ce logiciel est conçu pour faciliter le fonctionnement et l'intégration avec d'autres processus en ligne. Le logiciel garantit également que toutes les données collectées sont automatiquement stockées et facilement disponibles pour examen. Dans l'ensemble, l'ADE 575 est une machine d'essai et de métrologie de plaquettes de haute performance conçue pour le contrôle et la surveillance avancés des processus. Cet outil permet une mesure souple et précise des caractéristiques électriques, optiques et physiques d'une plaquette semi-conductrice. En outre, l'examen et l'analyse des données sont assurés par des logiciels avancés et des capacités d'analyse des données, ce qui garantit un fonctionnement efficace et fiable.