Occasion ADE / KLA / TENCOR 6033 #9162771 à vendre en France

ID: 9162771
Wafer thickness measurement systems Wafer sorter.
L'équipement ADE/KLA/TENCOR 6033 Wafer Testing and Metrology est utilisé pour mesurer les paramètres critiques du dispositif tels que les dimensions du dispositif, les paramètres électriques critiques en courant continu et alternatif pour les MOSFET, bipolaires, résistances, condensateurs, structures à mémoire non volatile (NVM) et portes logiques sur les plaquettes de silicium. Le système est capable de collecter et d'analyser des centaines de points de données pour s'assurer que l'appareil est correctement fabriqué. L'unité est conçue pour la précision, la vitesse et la flexibilité. Il dispose d'une machine de manutention automatisée des plaquettes triées jusqu'à 8 pouces de diamètre. En outre, l'outil offre plusieurs caractéristiques uniques pour mener des expériences avec des tests de niveau de plaquette de plusieurs filière sur une seule plaquette. L'atout est capable de tester des appareils jusqu'à 400um d'épaisseur avec une grande précision et précision grâce à son modèle optique haute résolution. Il utilise un équipement d'imagerie en champ lumineux et en champ sombre, fournissant des rapports signal à bruit supérieurs en capturant des images avec un temps d'exposition de quelques centaines de nanosecondes seulement. Le système est équipé d'un mouvement d'étage à 3 axes, permettant de mesurer rapidement un grand nombre de points de données d'essai à travers la plaquette. L'unité ADE 6033 offre une suite d'outils qui permettent de mesurer à haut débit les millimètres et les sous-microns. Il comprend des paramètres de résolution abondants, qui peuvent être configurés et utilisés rapidement et de manière flexible. Les capacités de mesure comprennent : la mesure de topographie rapide, la métrologie IP rapide, la mesure de paramètres électriques impulsionnels, la mesure de la courbe capacité-tension (C-V) et la mesure de la décomposition de l'oxyde de grille. De plus, la plateforme logicielle intégrée de la machine réduit le temps et la complexité de l'analyse des données. En utilisant les ensembles d'outils de l'outil, il identifie rapidement les défauts de processus et l'assemblage des plaquettes, les performances du dispositif, la tension de seuil, la précision de position du centre de la matrice et la précision des données. KLA 6033 Wafer Testing and Metrology actif est un modèle avancé qui offre une vitesse, une précision et une flexibilité accrues pour les tests de wafer. Il fournit une gamme complète d'outils de test pour identifier rapidement et avec précision les défauts des processus et des dispositifs.
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