Occasion ADE / KLA / TENCOR 6033T #9194726 à vendre en France

ADE/KLA/TENCOR 6033T est un équipement complet d'essai et de métrologie des plaquettes qui permet des mesures électriques, optiques et dimensionnelles complètes sur les plaquettes. Le système utilise des technologies combinées de logiciels et de matériel pour fournir des solutions avancées pour des essais non destructifs de plaquettes. L'unité ADE 6033T est construite sur la base d'une plate-forme PBWS (Plasma Bare Wafer Stepper), un dispositif automatisé conçu pour traiter les plaquettes. Cette machine fournit diverses capacités avancées telles que la cartographie des plaquettes, l'analyse des défauts électriques, l'inspection des défauts optiques et les capacités de métrologie dimensionnelle. Il peut détecter et mesurer de minuscules caractéristiques jusqu'à l'échelle du nanomètre. KLA 6033T est équipé de plusieurs segments, dont un scanner/manipulateur pas à pas pour le placement des plaquettes, un outil de port de chargement et un outil automatisé d'identification des plaquettes. L'étape démarre le processus de balayage de la plaquette en la plaçant physiquement à tout moment sur la table de métrologie, selon les instructions du logiciel. Le modèle de port de charge est responsable du transfert des plaquettes de leur stockage à la table de sonde et à l'arrière. Enfin, l'équipement automatisé d'identification des plaquettes gère rapidement la cassette de distribution entrante (DC) des plaquettes, permettant un flux de travail rapide et efficace. TENCOR 6033T comprend également deux unités de microscope optique, avec un grossissement allant de 20x à 1000x, capables d'imager des défauts ~ à une résolution nanométrique. En outre, le système comprend également diverses stations de test automatisées qui peuvent évaluer rapidement les propriétés électriques telles que la mobilité de la porteuse, la constante diélectrique, les essais en circuit ouvert et court, les résistances et la capacité de la matrice individuelle. Pour le contrôle de l'analyse, l'unité utilise une gamme de SoftGUIDES, une plate-forme logicielle avec des fonctionnalités avancées puissantes telles que la sélection automatisée de die/partition, la mesure de saut de piste pour le suivi, et la caméra pour la visualisation et le placement. 6033T machine d'essai de plaquettes et de métrologie fonctionne comme un ensemble complet fournissant des mesures électriques, optiques et dimensionnelles complètes sur différentes tailles de plaquettes. Il effectue un balayage efficace des trous traversants, tranchées, bosses, vias et autres éléments de la surface de la plaquette avec une précision nanométrique, et son poste de test automatisé fournit une solution optimale pour la vérification des paramètres électriques vitaux. L'outil est capable de fournir des résultats rapides et précis pour la production de dispositifs de haute fiabilité.