Occasion ADE / KLA / TENCOR 6034 #9162772 à vendre en France

ADE / KLA / TENCOR 6034
ID: 9162772
Wafer sorter Flatness measurement system.
L'équipement d'essai et de métrologie des plaquettes ADE/KLA/TENCOR 6034 est un inspecteur entièrement automatisé qui est idéal pour l'inspection et la métrologie des semi-conducteurs avant et après production. Il offre des performances d'inspection des plaquettes en ligne et hors ligne inégalées qui permettent des rendements et un confinement finaux rapides. Le système ADE 6034 utilise la technologie d'analyse de surface la plus récente, y compris la scatterométrie de lumière blanche, l'imagerie couleur et le SLRD. Cette combinaison de technologies permet de détecter et d'identifier rapidement et avec précision les défauts, la contamination par les particules, les rayures, l'écaillage ou d'autres anomalies. L'unité est conçue pour atteindre une grande fiabilité pendant sa durée de vie, ainsi que fournir un taux de rebut minimal de plaquettes. La machine utilise une caméra CCD haute résolution qui permet des observations de bord depuis le centre d'une plaquette, l'analyse de toutes les anomalies, et une classification fiable. Cela garantit que des résultats d'inspection fiables sont fournis dans chaque cycle. KLA 6034 utilise également un puissant moteur logiciel et des algorithmes avancés qui lui permettent de produire des données cohérentes et fiables rapidement et avec précision. Il est capable de détecter tout type de défaut ou d'anomalie au début de la fabrication, y compris la rugosité du lineedge, les linéarités, l'analyse des métaux et la cartographie topographique. Cela garantit que les données de processus les plus précises et les plus fiables sont obtenues le plus rapidement possible. TENCOR 6034 propose également une métrologie in-die très avancée. Il intègre plusieurs technologies, telles que l'examen des champs lumineux, le microscope optique, la mesure des dimensions critiques (CD), la mesure de superposition et l'examen de la ligne de scribe SAT. Cela lui permet de fournir des mesures complètes de n'importe quel échantillon, indépendamment de la taille ou de la complexité. 6034 contribue à réduire les coûts en permettant moins de ruptures de production. Il peut être facilement intégré dans n'importe quelle ligne de fabrication de semi-conducteurs existante et utilisé pour le traitement hors et en ligne. L'outil assure une optimisation maximale de tout processus de production, contribuant à améliorer le débit et à réduire le temps de mise sur le marché. Enfin, l'actif fournit un débit de données élevé pour un débit de données plus rapide et un temps de cycle réduit. De plus, il s'agit de l'un des systèmes d'essai et de métrologie de plaquettes les plus fiables, robustes et précis actuellement disponibles sur le marché.
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