Occasion ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9157018 à vendre en France

ID: 9157018
Wafer resistivity gauge.
ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035 est un équipement d'essai et de métrologie haute performance conçu pour une efficacité, une précision et une fiabilité maximales. Il permet de mesurer les paramètres électriques et optiques au niveau des plaquettes de 0 à 6035 angströms, et fournit un aperçu détaillé des performances des plaquettes, permettant aux fabricants de mieux comprendre leurs produits. Le système comprend un réflectomètre double axe télescopique (ARDER) pour les mesures de réflectance en ligne, un microscope de cartographie automatisé des plaquettes pour les vues standard de dessus et de côté des plaquettes, ainsi que des données d'imagerie couleur et de luminosité avancées pour la mesure et l'analyse. Grâce à sa couverture complète du spectre des plaquettes jusqu'à 6.035nm, il permet aux utilisateurs de traiter des éprouvettes à la fois en circuit intégré (IC) et en non-IC. L'ADE MicRhoSense 6035 dispose d'une gamme dynamique élevée allant jusqu'à 230dBs, ainsi que d'une longueur de lin minimale de 5mm, qui convient pour mesurer la matrice avec des caractéristiques étroites, des lignes fines et des couches minces. En outre, l'unité peut traiter un large éventail de matériaux, avec un débit élevé, et fournir des étalonnages et des validations fiables. Il est équipé d'algorithmes automatisés de correction de gain et d'offset pour améliorer la précision et la répétabilité. La machine dispose également d'une fonction d'auto-test (contrôle automatisé des défauts), qui peut être utilisée pour des diagnostics automatisés en cours de processus. KLA MicRhoSense 6035 est hautement personnalisable, offrant une large gamme d'options, telles que des logiciels avancés pour l'évaluation et l'analyse des données, et un large choix d'accessoires, tels que des séparateurs de faisceau et des polariseurs ainsi qu'une large gamme d'outils de micro-inspection et de métrologie. Cet outil est conçu pour une efficacité et une précision maximales, et est adapté à diverses applications dans la production de plaquettes, telles que l'analyse des défauts, ainsi que le contrôle des processus, la détection des défauts et la qualification. Cet actif fournit une solution complète aux équipes de production et d'ingénierie, ainsi qu'aux entreprises de semi-conducteurs et aux installations de fabrication de plaquettes.
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