Occasion ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9182330 à vendre en France

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ID: 9182330
Wafer measurement system Includes: ASC Controller Dual autoloader.
ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520 Wafer Testing and Metrology Equipment est la meilleure solution pour la fabrication et l'essai de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'une gamme complète de capacités de métrologie avancées, permettant aux utilisateurs de mesurer et de surveiller avec précision la qualité de leurs substrats et plaquettes pendant les processus de fabrication. ADE UltraGage 9520 offre la résolution et la répétabilité les plus élevées disponibles dans un système de ce type. KLA UltraGage 9520 utilise l'interférométrie laser 3D pour mesurer jusqu'à 10 000 caractéristiques par tranche en temps réel. L'unité est capable de balayer la surface sans contact avec une précision de localisation de la plaquette ± 5 µm sur l'ensemble de la plaquette. Les données de mesure sont saisies et stockées dans une base de données, permettant aux utilisateurs d'analyser les résultats et d'ajuster leurs processus au besoin pour garantir des résultats de haute qualité. TENCOR UltraGage 9520 est également capable de contrôler plusieurs processus en parallèle pour optimiser le processus de test. Par exemple, il peut être configuré pour contrôler précisément la pression et la température du processus, et peut détecter et ajuster les paramètres pour l'uniformité, l'épaisseur, l'alignement des bords des plaquettes, et d'autres caractéristiques spécifiques. La machine comprend des protocoles de test définissables par l'utilisateur, l'auto-étalonnage, et peut mesurer un large éventail de matériaux de substrat, y compris le silicium cristallin et non cristallin, le nitrure de gallium et le carbure de silicium. En outre, UltraGage 9520 dispose de plusieurs paquets optiques avancés, y compris un outil d'imagerie partielle de plaquettes, permettant une mesure plus haute résolution et une détermination plus précise des défauts de substrat. L'atout comprend également une interface optique USB haute vitesse qui peut transférer des données jusqu'à 10 mégabits par seconde. Cette caractéristique réduit considérablement le temps de visualisation des mesures et d'ajustement des paramètres de traitement. ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520 offre une précision et une répétabilité de calibre mondial, permettant aux fabricants d'identifier et de caractériser plus précisément que jamais les caractéristiques du substrat. Cette précision supérieure permet aux utilisateurs d'améliorer la qualité de leurs substrats et d'augmenter le rendement de leur production. En outre, le modèle est capable de manipuler un grand volume de plaquettes rapidement et efficacement - tandis que sa conception ergonomique avancée assure le confort de l'utilisateur et la facilité d'utilisation même pendant de longs cycles d'essai.
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