Occasion ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9200036 à vendre en France

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ID: 9200036
Wafer metrology system Non-contact capacitive probe measurement: Resolution: 10 um Wafer thickness range: 400 to 800 Microns E-PLUS Advanced / Thickness between stations Signal effector arm robot 9600 Power supply Non contact P/N type tester Wafer resistivity: 0.1 to 200 ohm-cm ADE 350 Arm controller Auto A probe ASC Controller Includes: Capable of measuring-lapped, etched, polished and patterned wafers - measures bow and warp Site and global flatness (2) Cassette input stations (3) Cassette output stations Prealigner station Hi-RES Station Operation manual Maintenance manual.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour offrir aux chercheurs en recherche et développement une puissante gamme d'instruments d'essai modulaires pour effectuer des mesures avancées au niveau des plaquettes. UltraScan est capable de métrologie automatisée d'une variété de paramètres d'essai tels que la contrainte-déformation, l'épaisseur du film, les caractéristiques de surface, les propriétés électriques, et plus encore. Il peut mesurer la structure, les propriétés et la composition chimique des plaquettes avec une grande précision et peut être utilisé pour une large gamme de métrologie de surface et de niveau profond. Le système a un champ de vision de 514mm ², une taille d'image de 12,6 μ m et une résolution de 0,6nm. Il peut traiter jusqu'à 8 plaquettes par heure avec un débit de 15 à 40 minutes par plaquette, selon la mesure nécessaire. L'unité est équipée d'une machine d'imagerie constituée d'un capteur CCD et d'un microscope optique pour détecter les informations de mesure à la surface de la plaquette. Il peut lire, analyser et stocker des images de test avec un étalonnage de haute précision. Cet outil d'imagerie est également utilisé pour focaliser, positionner et réaliser un alignement de surface sans contact. L'actif est capable de prélever un large éventail d'échantillons, tels que le silicium sur isolant, les plaquettes multicouches, les couches minces, le silicium polycristallin, l'emballage au niveau des plaquettes, etc. Il a également la capacité de supporter une variété de techniques de métrologie, comme le balayage axial, test de contrainte, et profondeur de gravure. ADE UltraScan 9600 est contrôlé et surveillé à partir d'une interface conviviale. Il permet le transfert, l'analyse et le stockage de données sur des réseaux locaux ou étendus. Il est équipé d'un modèle logiciel intégré qui prend en charge le diagnostic automatique et le tri des plaquettes. Enfin, l'équipement est conçu pour un entretien et une réparation faciles. Dans l'ensemble, KLA ULTRA SCAN 9600 est un puissant système de test et de métrologie de plaquettes qui offre des mesures très précises et est capable de supporter une gamme d'applications définies par l'utilisateur.
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