Occasion KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9155219 à vendre en France

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ID: 9155219
Wafer inspection system Single phase, 60 Hz 17 Amps, 208 V 1994 vintage.
KLA/TENCOR 6400 Surfscan est un outil de haute précision pour mesurer la surface des plaquettes. Il utilise un profilomètre interférométrique sans contact (INC) breveté pour mesurer les caractéristiques de surface sur les plaquettes, telles que les informations topographiques et dimensionnelles. L'INC est une technologie de pointe pour la mesure rapide et précise des défauts du nanomètre. KLA 6400 Surfscan est conçu pour travailler sur des lignes de production à haut volume. Il utilise un équipement de balayage à haute vitesse et à double zone pour augmenter le débit et réduire le temps de retour. Le système à double zone comporte un détecteur de 7µm conçu pour détecter les défauts précoces sur une plaquette et un détecteur de 1µm conçu pour mesurer des caractéristiques de surface plus précises. Il est capable de scanner une plaquette à 300mm/min, avec des données capturées à 200 datapoints par mm. TENCOR 6400 Surfscan dispose également de plusieurs outils de métrologie. Il s'agit notamment d'une unité de métrologie des particules à grande vitesse, d'une machine de métrologie des particules à faible contraste, d'un outil de métrologie de la topographie, d'un actif de métrologie de surface en 3D et d'un modèle de métrologie de la rugosité. Tous ces systèmes peuvent mesurer différents types de plaquettes, y compris le quartz, l'aluminium et le plastique. 6400 Surfscan a également un certain nombre d'autres fonctionnalités. Il est conçu avec un équipement d'étalonnage et d'alignement automatisé qui assure un alignement parfait des surfaces supérieure et inférieure. Il a aussi un ER-2000 le Système de Traitement Avancé, qui tient compte de l'analyse de données et du contrôle des données recueillies par KLA / TENCOR 6400 Surfscan. KLA 6400 Surfscan est rempli de fonctionnalités qui facilitent et accélèrent les tests et la métrologie des plaquettes. C'est l'outil idéal pour les entreprises de semi-conducteurs qui ont besoin d'un outil précis et efficace pour les essais de plaquettes et la métrologie. Avec sa précision et ses caractéristiques, TENCOR 6400 Surfscan est un outil très fiable qui peut être utilisé pour mesurer les caractéristiques de surface avec facilité et précision.
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