Occasion KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9180164 à vendre en France

KLA/TENCOR 6400 Surfscan est un système avancé de test et de métrologie des plaquettes conçu pour mesurer, qualifier et déboguer les processus des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil multifonctionnel pour les applications horizontales et verticales, ainsi que pour l'imagerie de surface avant et arrière. La version standard de Surfscan 6400 est équipée d'une variété de capacités de métrologie, toutes conçues pour améliorer le rendement des plaquettes de production ainsi que la qualité. Cela comprend la scatterométrie optique pour mesurer la topographie de surface et la forme des caractéristiques, ainsi que l'interférométrie optique tridimensionnelle pour mesurer l'épaisseur et la variation des couches minces dans le temps. En outre, la scatterométrie optique comporte un scanner vertical et une caméra haute résolution qui peuvent être utilisés pour identifier et caractériser une variété de défauts de surface. Surfscan 6400 offre également une variété de fonctions de reporting automatisé qui peuvent aider à réduire le temps d'analyse et à augmenter la productivité. Ces rapports peuvent être utilisés pour comparer des plaquettes avec des critères précis et fournir une « carte de santé » complète pour un lot de production. Un logiciel d'examen automatisé avancé peut également être utilisé pour accélérer le processus d'examen de la scatterométrie et des données d'inspection d'interférométrie, ce qui peut réduire considérablement le temps d'installation et la confusion. Surfscan 6400 dispose de plusieurs nouvelles améliorations qui étendent les performances de la métrologie des plaquettes. Il s'agit notamment de la scatterométrie à double lumière qui mesure simultanément la topographie de surface et la variation de l'angle incident ; profilage des gravures par voie humide, utilisé pour mesurer les couches barrières et d'autres paramètres du processus de gravure ; profilage de prisme, qui peut mesurer les épaisseurs de couche dans les diélectriques transparents ; et une conception de module intelligent offrant un débit plus élevé à partir d'une empreinte plus petite. Surfscan 6400 offre également la possibilité de personnaliser la configuration de l'outil pour tenir compte de plusieurs formats de substrat, tels que l'inspection de bosse, l'inspection de hauteur de pas et l'analyse de profil. Il offre également une vitesse de scan supérieure et un temps de configuration faible, tout en permettant aux utilisateurs d'identifier avec précision et efficacité les problèmes de processus dans une fraction du temps. Dans l'ensemble, KLA 6400 Surfscan est un excellent système de test et de métrologie de plaquettes qui fournit des données rapides et fiables et des capacités de personnalisation avancées pour un large éventail d'applications. Cela permet aux utilisateurs de diagnostiquer rapidement et avec précision les problèmes de processus pour améliorer les performances des plaquettes et réduire les temps d'arrêt.