Occasion ASM A 412 #9097361 à vendre en France

L'ASM A 412 est un four de diffusion et un équipement accessoire composé de composants multiples. Il est conçu pour être utilisé dans des applications de fabrication de semi-conducteurs telles que la diffusion de dopants, l'oxydation de plaquettes et le traitement thermique rapide. Le four de diffusion est une grande chambre à vide cylindrique. La chambre a une largeur variable pour accueillir des plaquettes jusqu'à 600 mm. Le système utilise la technologie propriétaire de chauffage latéral et d'uniformité pour créer un profil de température uniforme sur la surface de la plaquette. Le four comprend également une unité de mesure du vide, ainsi que des commandes pour la fixation des paramètres du processus et la surveillance des données du processus. La machine ASM A412 comprend également un certain nombre d'accessoires. Un plateau tournant dans la chambre facilite le chargement et le déchargement des porte-plaquettes avec jusqu'à quatre plaquettes à la fois. Un bras robot supporte l'introduction et le retrait des plaquettes vers et hors de la chambre. Le bras robot utilise un outil de suivi optique conçu pour assurer un positionnement précis des plaquettes pour le traitement. Un atout 412 est livré avec un certain nombre de fonctionnalités et d'options pour assurer des performances fiables et sûres. Un modèle intégré de verrouillage de sécurité permet à l'équipement de s'arrêter si des erreurs ou des irrégularités sont détectées pendant le traitement. Un évier refroidi par l'eau est incorporé pour extraire la chaleur de la chambre et s'assurer que les températures restent dans les limites autorisées. Le système comprend également une unité automatique de débit et de commande de gaz, qui assure que l'argon et les autres gaz sont délivrés au bon débit pour l'application. Le progiciel PROCEASE Fusion 2 accompagne A412 machine, offrant une interface graphique conviviale et intuitive pour définir les paramètres du processus et contrôler les performances de l'outil. Un module de contrôle logiciel intégré fournit un accès à distance, permettant le contrôle des actifs depuis n'importe quel endroit. Le logiciel comprend également des options avancées telles qu'un modèle d'automatisation qui peut être utilisé pour personnaliser des recettes pour des processus spécifiques. Le four de diffusion et les accessoires ASM A 412 sont conçus pour faciliter l'utilisation et optimiser les performances. Le système est très fiable et offre une répétabilité supérieure à celle des autres fours de diffusion de sa catégorie. Avec ses fonctions de commande complètes, son uniformité thermique améliorée et son logiciel pratique, ce four de diffusion est idéal pour de nombreuses applications de semi-conducteurs.