Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #101184 à vendre en France

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ID: 101184
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
LPCVD Nitride Furnace, 12" Dual FOUP WAVES Controller UP box Boat elevator with tube shutter Cassette load automation Boat rotation Gasses Dichlorsilane (DCS) NH3 N2 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion et ses accessoires pour la fabrication de semi-conducteurs. Cet outil d'automatisation avancé est conçu pour améliorer les procédés de gravure des semi-conducteurs et est utilisé dans les installations de recherche et de production du monde entier. TEL ALPHA-303I a la capacité de chauffer et de refroidir rapidement avec un contrôle précis. Il est également capable de changements rapides de débit de gaz, de température et de pression. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I se compose d'un four de diffusion, d'un entraînement rotatif pour le mouvement rotatif et linéaire, de verrous directionnels et d'un contrôleur avec interface utilisateur. Le four de diffusion se compose de plusieurs zones de chauffage et d'une unité de température/refroidissement. L'unité de température/refroidissement est un environnement thermique contrôlé numériquement qui est utilisé pour contrôler précisément la température du four et de ses composants. Les verrous directionnels permettent d'éliminer le desserrage mécanique et peuvent assurer une gravure plus stable du profil profond. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 J'ai également un contrôleur avec interface utilisateur. Cette interface permet à l'utilisateur d'entrer des paramètres et de suivre la progression du dispositif. Par exemple, les utilisateurs peuvent surveiller la température, la pression, le débit de gaz et d'autres paramètres avant, pendant et après le processus de gravure. De plus, le contrôleur dispose de fonctions de sécurité intégrées qui garantissent que l'appareil fonctionne de manière stable, répétable et reproductible. Afin d'assurer une bonne performance dynamique, TEL ALPHA 303 I dispose également d'un certain nombre de fonctionnalités. Ces caractéristiques comprennent un système de navette pour le chauffage et le refroidissement rapides, une capacité d'assistance à l'hélium pour les changements rapides de température, un système de recirculation avancé pour les substrats traités uniformes, et un pistolet à azote liquide pour un écoulement facile de l'azote. Ce four de diffusion avancé est conçu pour être utilisé dans les équipements haut de gamme des installations de recherche et de production. Avec ses caractéristiques de sécurité améliorées et son système de contrôle avancé, ALPHA-303I est un outil puissant pour améliorer les processus de gravure. Cet outil convient à un large éventail d'applications et est un choix idéal pour améliorer la précision et la rapidité de production.
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