Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9095367 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four et accessoire de diffusion principalement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour traiter les plaquettes et autres matériaux avec un procédé de diffusion. TEL ALPHA-303I est un équipement compact qui effectue un traitement thermique rapide (RTP) à haute température et à divers diamètres de plaquettes. Il s'agit d'un système efficace et hautement productif capable d'exécuter jusqu'à quatre processus distincts simultanément. Les procédés distincts qui peuvent être exécutés sur TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I sont les suivants : oxydation, recuit, traitement thermique rapide et diffusion. TEL ALPHA 303 I est équipé d'un dispositif de commande, connu sous le nom de Fuzzy Logic Control Unit, qui lui permet de répondre avec précision et rapidité à divers paramètres de processus. Le dispositif permet aux opérateurs de régler et de contrôler facilement les profils de température, la tension d'alimentation et la pression de la chambre du four. De plus, le dispositif de contrôle peut alerter les opérateurs en cas d'erreur. ALPHA-303I dispose d'une grande chambre de traitement pouvant accueillir jusqu'à vingt-quatre plaquettes de 4 « ou seize plaquettes de 6 ». Les parois de la chambre sont en graphite et la chambre est encore protégée par un blindage en alumine, ce qui contribue à améliorer l'isolation thermique. Le four est également équipé d'une navette robotique qui peut transférer des plaquettes de la station de chargement vers le réacteur et vice versa. En fonctionnement, la chambre du four est chauffée jusqu'à une température maximale de 1500 ° C et présente une homogénéité de température inférieure à ± 10 ° C La pression de la chambre est constamment surveillée et peut être variée jusqu'à un maximum de 3-7Torr avec une précision de 0.1Torr. Le four de diffusion est en outre équipé d'un outil d'échantillonnage du profil de température qui limite la plage de température du four en enregistrant le profil de température jusqu'à vingt fois par seconde. ALPHA 303 I est conçu pour un traitement sûr, efficace, précis et productif des plaquettes. Il est équipé d'un orifice d'échappement et peut être relié à un dispositif d'évacuation approprié pour un contrôle efficace des émissions. Le modèle comporte également des dispositifs de sécurité en boucle fermée qui surveillent activement le four et son équipement d'échappement afin d'assurer une sécurité et des performances continues. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion efficace et productif idéal pour les applications de traitement des semi-conducteurs. Il est capable d'atteindre rapidement des températures élevées avec uniformité et précision et est équipé d'une variété de dispositifs de sécurité pour assurer le bon fonctionnement et le contrôle des émissions.