Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE #9050117 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SE est un four de diffusion et un accessoire conçu pour permettre la flexibilité des processus tout en offrant un haut degré de répétition et de précision dans le traitement des substrats. TEL Alpha 808SE se compose d'une chambre de chauffage, d'une chambre de réaction et de plusieurs systèmes auxiliaires. La chambre de chauffage utilise deux systèmes de résistance-chauffage (RHS) et une paire de systèmes d'injection de gaz pour assurer des conditions de température uniformément élevées dans la chambre. Le RHS intègre des éléments chauffants performants capables de produire des températures allant jusqu'à 1000 degrés centigrades avec un gradient de température très bas. Ceci est encore renforcé par l'injection de gaz qui est acheminée vers la buse puis injectée dans la chambre de réaction qui mélange l'ambiance gaz déposé et four pour produire l'atmosphère de procédé désirée. La chaleur est émise de la chambre de chauffage et surveillée par des capteurs spéciaux dans la chambre de réaction. En outre, cette chambre est équipée d'un équipement de surveillance de l'environnement inerte (IEM) pour maintenir la haute qualité de l'environnement de travail. La chambre de réaction comprend également un système d'écoulement contrôlé par pression qui stabilise l'atmosphère à l'intérieur de la chambre, permettant des cycles de processus plus rapides et un meilleur contrôle des paramètres de gravure. De plus, l'unité d'écoulement est couplée avec une machine d'échappement pour assurer une atmosphère sans particules. TOKYO ELECTRON Alpha 808SE offre un traitement efficace du substrat grâce à des systèmes de déplacement de haute précision comprenant un bras de transfert robotique de substrat et un bras robotisé à sept axes. Ceux-ci sont contrôlés par un outil de contrôle et de surveillance avancé et peuvent être utilisés pour contrôler précisément l'ensemble de l'actif. Enfin, Alpha 808SE est livré avec plusieurs accessoires en option, dont un modèle de livraison de composants pour la manutention des matériaux, des contrôleurs de température et des enregistreurs de données pour permettre aux utilisateurs d'enregistrer et de contrôler la température de l'équipement, la pression et d'autres paramètres. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SE four de diffusion est un outil fiable pour le traitement de substrat avec ses hautes températures, la répartition uniforme de la température, et une large gamme d'options de contrôle de mouvement.