Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) #197477 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL)
Vendu
ID: 197477
Taille de la plaquette: 8"
PIX Cure APCVD furnace, 8".
Le four de diffusion TEL Alpha 8SE (N2LL) est un outil haut de gamme pour le traitement des semi-conducteurs qui permet un contrôle précis des paramètres critiques tels que la température, la pression et le débit. Avec une chambre en acier inoxydable fermée, l'Alpha 8SE est capable de fonctionner dans une variété d'atmosphères pour accueillir différents types de traitement. Un nouvel équipement de chauffage infrarouge fournit une distribution de chaleur uniforme pour des processus uniformes et une récupération rapide pour des engagements rapides. L'Alpha 8SE fournit également un contrôle de température de haute précision grâce à l'utilisation de régulateurs de température PID indépendants et de systèmes de contrôle informatique. L'Alpha 8SE conçu pour le traitement complet des plaquettes dispose d'une chambre intérieure qui permet l'utilisation de différents types d'équipements et de recettes et est facilement remplaçable pour améliorer l'équipement ou pour différentes recettes. Pour encore plus de flexibilité, les systèmes personnalisés peuvent être conçus sur commande spécifique et peuvent être adaptés pour une flexibilité et des performances maximales. Pour assurer la sécurité de l'opérateur, l'Alpha 8SE dispose de systèmes de protection améliorés, tels que des chambres anti-bulles intégrées et des systèmes de surveillance du mouvement multi-axes ainsi qu'un système de surveillance visuelle plan plat. Le chargement in situ rapide et précis est assuré par l'utilisation d'une unité de chargement robotique (REX), qui peut imiter les différentes tailles de plaquettes et manipuler facilement les substrats fragiles. Pour un traitement uniforme, une machine à débit rapide de gaz permet un écoulement plus uniforme de gaz tels que N2 et Ar, tandis qu'une vanne intégrée à faible masse de gaz permet un contrôle élevé du débit de gaz. L'Alpha 8SE est également conçu en tenant compte de l'accessibilité, permettant une installation, un fonctionnement et une maintenance faciles, avec une fenêtre de visualisation facile à lire et une interface à distance intégrée qui facilite l'accès et le fonctionnement à partir d'ordinateurs distants. En outre, cet outil est conçu pour une sécurité et une fiabilité maximales avec un avertisseur visualisé, des capteurs de température redondants et deux boutons de secours. Dans l'ensemble, le four de diffusion TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) est un outil de haute performance qui fournit un contrôle précis pour le traitement des semi-conducteurs, avec de nombreuses caractéristiques de sécurité. Avec sa gamme de fonctionnalités sophistiquées, ce modèle offre une solution de diffusion puissante et efficace pour une multitude d'applications.
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