Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9099381 à vendre en France
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Vendu
ID: 9099381
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TEOS
(1) Heater element Model: Mid-Temp VMM-56-002 5zone/500-1000
Process Condition: LP
Maximum Operating Temperature: 1000°C
N2 Load Lock: Yes
Wafer Type: 300 SEMI STD-Notch
Qty. of Production Wafers: 117 slots Ladder
Boat Operation: (2) Boat Type / (2) Boat Operation
Software Version: 2.06
Furnace:
(1) Loading Area Light: White (LED)
Force Air Cooling system: None
Side Maintenance: None
(1) O2 Density control: NGK SH-304 STANDARD
(1) N2 Boat shower wafer cooling: installed
(1) Furnace Temperature Controller: M560A
Wafer/Carrier Handling:
Carrier Type: FOUP (25) slots (STD)
Carrier Stage Capacity: 16
(1) WTU Type: 1+4 Edge Grip
WTU alignment: None
WTU Teaching method: None
Gas Distribution:
IGS Maker / Type: AREA
IGS MFC Maker / Type: AREA (Gas Panel)
IGS Press Transducer Maker / Type: NAGANO
Exhaust:
Vacuum Gage - 2 torr: None
(1) Vacuum Gage - 10 torr: MYKROLIS CMLH-31-150S06
Vacuum Gage - 100 torr- None
(2) Vacuum Gage - 1000 torr: MYKROLIS CMLH-11-150S06
(1) Main Valve: MKS-99C1274
(1) Pump Maker/Model: EDWARDS IH-1800
Low vacuum valve: None
(1) Trap: Disk Trap
(1) Vacuum Pressure Controller: N2-ballast
Reactor:
(2) Process Tube (LP): Outer: ID448xH1360, Inner: Straight H1340
(2) Outer/Inner Tube Material (LP): Quartz
Inner Tube Type (AP): None
(1) Inner T/C: Outer Tube interior wall type
(2) Boat Material/Type: Quartz 117 slots Ladder (8mm pitch)
(1) Boat Rotation: installed
(1) Pedestal Materiel/Type: Quartz Sand blast OD300 H350 1fins
(1) Auto Shutter: installed
Power Distribution:
Voltage, 3 Phase: 208VAC
Voltage, Single Phase: 120VAC
Frequency: 60Hz
User Interface:
(2) Operation Panel: Front/rear Gas Box and Operation Panel Installed
(2) Indicator Type: Superset
Operation software type: Linux
(4) Gas Leak Detector Material/Type: Riken TEOS/CLF3
Dry pumps: not included.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion et des accessoires de pointe pour les procédés semi-conducteurs avancés. TEL ALPHA-303I est un four de diffusion polyvalent, rapide et de haute qualité qui offre des performances fiables, un contrôle de température réglable et une large gamme de fonctions pour une répétabilité maximale du processus. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est un four à chambre unique avec une paroi latérale en quartz et une capacité de zone chaude de 455L. Ce four de diffusion comporte un équipement de chauffage rayonnant à faible masse thermique susceptible de changements rapides de température. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I est également équipé d'un système de cuisson à trois zones pour un contrôle optimal de l'homogénéité de température dans la chambre de procédé. Alpha 303i comprend également une unité de chargement d'échantillons ascenseurs verticaux qui permet le transfert automatique des wafers vers la chambre de traitement. Le bateau peut être automatiquement porté à deux températures différentes afin d'optimiser le processus de refroidissement. De plus, la température de la chambre de procédé peut être préréglée en fonction des besoins du procédé. La machine TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est équipée d'une gamme complète d'accessoires, y compris un outil de refroidissement en boucle fermée. Cet atout aide à maintenir la température désirée dans la chambre de procédé en utilisant des capteurs pour mesurer et contrôler la température du gaz de procédé. TOKYO ELECTRON Alpha 303i dispose également d'une gamme de mesures de contrôle de processus telles qu'un générateur de recettes Auto intégré pour des recettes rapides et fiables et un paramétrage avancé. Il est également capable de surveiller le processus pour une variété de paramètres de processus, y compris la température, le débit, la pression et le débit total de gaz. ALPHA 303 I est conçu pour permettre un cycle thermique extrêmement rapide et précis, avec un temps de récupération court entre les courses. Avec son contrôle de température de haute précision, le modèle TOKYO ELECTRON ALPHA-303I offre une excellente répétabilité et reproductibilité. TEL Alpha 303i dispose également d'une gamme de dispositifs de sécurité, y compris une pompe à vide refroidie à l'eau qui est capable d'évacuer rapidement tout gaz ou air de procédé de la chambre de procédé. Cela garantit une sécurité maximale pendant le fonctionnement. L'équipement TEL ALPHA-303 I dispose également d'un système d'alimentation en gaz de secours pour s'assurer que la chambre de traitement est toujours alimentée adéquatement avec le gaz de procédé approprié. ALPHA-303 I est un four de diffusion fiable et polyvalent et des accessoires qui offre d'excellentes performances et répétabilité pour les procédés semi-conducteurs avancés. Sa gamme de caractéristiques de sécurité et ses mesures de régulation de température avancées en font une solution puissante et sûre pour une grande variété de besoins de processus.
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