Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #104721 à vendre en France

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ID: 104721
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
High-temp furnace, 8" Process: Oxide 8 cassette stockers Frequency 60 Interface.-Cassette ¡V 8"-Phase -3 Voltage, 208V Facilities entry at bottom Wide Body style, Right sided Brooks 5964 MFCs MFC 7 HCl 1 slm MFC 6 O2 1 slm MFC 5 O2 20 slm MFC 4 H2 10 slm MFC 3 Ar 20 slm MFC 2 N2 5 slm MFC 1 N2 20 slm TS-4000SZ Furnace controller Varian TEL LR300 Temperature controller AP Tech O2 and H2 flow switches HEL Pyro Control Touch screen operator interface Load Size 100 wafers-(upgradeable 150) 1200 C Heater Core Lip Seal, Inner T/C, Linear aligner UP/DOWWN axis slide motions No variable pitch. Single or five (5) wafers Boat, CLN ON 07-00202 Cover, Pedestal 07-00204 Pedestal 07-00205 PFA tube (6.35x4.35x1.0T) 06-22014-00-16 inch process Tube Rapid Cooling System power rating: 3 Phase, 208 V, 60 Hz 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four à diffusion multi-zones et ses accessoires principalement utilisés dans le traitement des semi-conducteurs. Le four est un four piloté par PC à orientation horizontale qui se compose d'une chambre de procédé interne et d'une coquille externe. TEL ALPHA-8S est capable de traiter des échantillons à petite échelle tels que des pièces, des substrats et des matrices, avec une taille maximale de 25mm x 25mm x 10mm. La chambre de procédé est construite en alliage d'aluminium et a un volume intérieur de 640x50x3.5mm (L × W × H). La zone de chauffage est composée de jusqu'à 6 stations de chauffage avec ventilateurs supérieurs et inférieurs pour réguler la température pour une uniformité optimisée. Les éléments chauffants utilisent le type Kanthal avec une puissance maximale de 4kW. Le four est équipé de deux systèmes de régulation de température indépendants, l'un pour la température à l'état stable et l'autre pour le refroidissement thermique rapide. La précision de la température est ± 1 ° C à l'état d'équilibre et ± 3 ° C à l'arrêt thermique rapide. La précision peut être maintenue même lorsque la température augmente à 200 ° C (392 ° F). Le processus de TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est contrôlé par le contrôleur PC haut de gamme qui permet l'acquisition et l'affichage de données à grande vitesse. L'acquisition de données est fiable et intelligente avec de multiples ensembles de recettes et de paramètres. Il offre une interface utilisateur sophistiquée et des menus de fonctionnement, optimisés pour un fonctionnement rapide et facile. TEL ALPHA-8 S peut être utilisé pour traiter d'autres matériaux tels que l'or, le cuivre, l'aluminium et l'étain. Le processus de diffusion de ALPHA-8 S peut être personnalisé en fonction des besoins du procédé spécifique. Les accessoires du système TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S comprennent un débitmètre à gaz testé manuellement, un accumulateur de gaz, un couvercle d'isolation thermique, des régulateurs de débit de gaz, un interrupteur de pression de gaz et une bouteille de gaz de purge. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est un four de diffusion multi-zones avec un intérieur en alliage d'aluminium pour petits échantillons. Il dispose de deux systèmes de régulation de température indépendants, de ventilateurs réglables pour un contrôle de température uniforme, d'un contrôleur PC haute performance pour l'acquisition et l'affichage de données et de divers processus personnalisables. Les accessoires aident également à maximiser les performances de ALPHA 8 S et en font un choix idéal pour le traitement des outils semi-conducteurs.
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